DISS 5 EBIC – Quantitatives EBIC-System
Unsere Hard- und Softwarelösung für die Aufnahme und Auswertung von EBIC-Signalen an Rasterelektronenmikroskopen. Erfahren Sie mehr:
DISS 5 EBIC Produktblatt (Größe: 266 KB)
Kurzbeschreibung
DISS 5 EBIC ist die Kombination eines universellen digitalen Bildaufnahmesystems mit einem speziellen Messverstärker zur Aufnahme und Auswertung von EBIC-Signalen in einem REM.
Der Messverstärker wurde in enger Zusammenarbeit mit verschiedenen Anwendern entwickelt, um den unterschiedlichsten probenspezifischen Anforderungen gerecht zu werden.
Es lassen sich einfache pn-Strukturen, Schottky-Übergänge und Proben der verschiedenen Technologien aus dem Photovoltaikbereich untersuchen.
DISS 5 EBIC kann an beliebigen REMs installiert werden. Die elektrische Kontaktierung und Halterung der Probe sowie die elektrischen Durchführungen des EBIC-Signals zum Messverstärker werden REM-spezifisch ausgeführt. Das Bildaufnahmesystem übernimmt die Steuerung des Elektronenstrahls und kann neben dem EBIC-Signal gleichzeitig noch 3 weitere analoge Signale (SE, RE, auch Kathodolumineszenz) aufnehmen.
Die DISS 5 EBIC Software stellt alle Parameter für die Bildaufnahme ein, steuert die Bildaufnahme und bedient den EBIC-Messverstärker zur Einstellung von Betriebsart, Verstärkung, Kontrast, Helligkeit, Nullpunktunterdrückung und Nullpunktabgleich. Dabei werden alle Parameter des Messverstärkers erfasst, um eine spätere quantitative Auswertung der EBIC-Bilder zu ermöglichen. Verschiedene Zusatzfunktionen wie Signalmonitor, ROI-Scan, live SE+EBIC Signalmischung, voreinstellbare Scanfunktionen, Aufnahme der U/I-Kennlinie der Probe, konfigurierbare Oberfläche zur Bedienung des Messverstärkers und Excel-Datenausgabe erleichtern dem Benutzer die Arbeit mit DISS 5 EBIC.
DISS 5 EBIC Hardware
Hardware
- USB 2.0 Schnittstelle
- EBIC-Messverstärker:
- Gain (103 … 1010) × (0.1 … 100) V/A
- Bandbreite 0,5 MHz bei 109 V/A
- variable Nullpunktunterdrückung, Vorspannung
- Scangenerator max. 16 k × 16 k Bildpunkte
- Verweilzeit pro Bildpunkt 200 ns … 6 ms
- 4 analoge Signaleingänge 12 Bit, Signalintegration
Software
- Einstellen und Speichern aller Verstärker-Parameter
- Anzeige des EBIC-Signals
- U/I-Kennliniendarstellung der Probe
- konfigurierbare Scanfunktionen
- Line Scan, Punktmessung, Signalmonitor
- Speichern der Bilder mit allen Parametern
- integrierte Bildauswertung
Übersicht EBIC-Messverstärker
Spezifikation
Softwaremäßige Einstellung der Parameter des EBIC-Messverstärkers
- Gain Vorverstärker: 103 … 1010 V/A, Pegelanzeige um Übersteuerungen zu vermeiden
- Tiefpass zur Rauschminderung in 8 Stufen
- Polaritätsumschaltung bei negativen EBIC-Signalen
- Nullpunktunterdrückung (Eingangs-Offset, 16 Bit) – das Eingangssignal kann vollständig kompensiert werden, um schwache Kontraste abzubilden
- Kontrast (Verstärkung Hauptverstärker) 0,1 … 100-fach kontinuierlich einstellbar
- Helligkeit (Ausgangs-Offset) -1 … 1 V, 16 Bit
- Nullpunktabgleich Vorverstärker
- Vorspannungseinstellung (BIAS) -10 … 10 V, 16 Bit
- kalibrierte Stromquelle -1 … 1 µA, 16 Bit zum Test des Gesamtsystems und zur Gleichsignalunterdrückung
- Speichern und Laden aller Parameter
Konfigurierte Betriebsartenumschaltung des EBIC-Messverstärkers
- EBIC-Messung ohne/mit Vorspannung
- EBIC-Messung mit Gleichsignalunterdrückung
- Aufnahme der Strom/Spannungs-Kennlinie der kontaktierten Probe
- Strahlstrommessung intern oder externes Messgerät
- Nullpunktabgleich mit Probe, Elektronenstrahl abgeschaltet
- EBIC-Messung mit externem Lock-In-Verstärker – Ansteuerung Beam-Blanker
EBIC Bildaufnahme und Bildbearbeitung
- USB 2.0 Schnittstellen zur Steuerung des EBIC-Messverstärkers und für Befehls- und Datentransfer zum aktiven Scangenerator
- Treiber und Software für Windows 2000/XP/Vista/Windows 7
- Scan mit max. 16.384 × 16.384 Pixel, Bildformat beliebig wählbar
- 4 × 12 Bit D/A Wandler für analoge Bildsignale, simultane Aufnahme aller Bildsignale
- 12 × 16 Bit Zähler für Mapping und weitere Zählaufgaben (KL - Einzelphotonenzählung)
- bis zu 32.000-fach Oversampling für rauschfreie Bilder, Lineaveraging, Frameaveraging
- Synchronisation des Slow-Scans mit Netzfrequenz
- Trigger-Eingänge und Clock-Ausgänge für Punkt, Linie, Bild
- Signalmonitor zur Kontrolle der Bildsignale, Live Gradationskurven, Automatikfunktionen
- Channel Mixer zum Live-Mischen der Bildsignale mit wählbarer Farbzuordnung
- Berechnung und Anzeige des EBIC-Signals und der Effizienz für jeden Bildpunkt
- Reduced Area Scan mit Zoomfunktion für Fokussierung und Astigmatismuskorrektur
- Mapping, Linescan, Punktmessung, ROI-Messung, qualitativ und quantitativ mit EDS/WDS
- Export von Linienprofilen als Bild oder Messdaten von Linescan und Punktmessung
- AVI-Funktion zur Aufnahme von Videosequenzen, mit Zeitrafferfunktion (Option)
- Bildlaufleiste zum temporären Speichern der Bilder, Auto-Speichern Funktion
- konfigurierbare Bildaufnahmefunktionen, anpassbare Bedienoberfläche des Messverstärkers
- TWAIN-Schnittstelle zur Integration als OEM Produkt, z.B. in Bilddatenbanken
- Acquisition-Library zum Erstellen eigener Aufnahmesoftware, Library zur Ansteuerung des EBIC-Messverstärkers
- Öffnen und Speichern von Bildern (unterstützte Formate: TIFF, BMP, JPEG, GIF, PNG)
- Speichern wichtiger Bildinformationen im standardisierten XMP-Format ins TIFF (EBIC-Messverstärkereinstellungen, EBIC Formel, Mag, WD, HV, Kalibrierung, Bildaufnahmeparameter, Punkt- und Linescandaten)
- Layoutfunktion zum Aufnehmen und Speichern zusammengehöriger Bilder
- Drucken von Einzelbildern oder Layouts mit verschiedenem Zoom
- Ausschneiden von Bildausschnitten, Drehen von Bildern
- Messfunktion für Längen, Winkel, Radien, Bemaßung auch im Bild
- konfigurierbare Bildunterschrift mit Mikronmarker und Bildparametern, Beschriftungen im Bild
- Falschfarbdarstellung von Bildern, Bildmischfunktion
- Helligkeit, Kontrast, Histogrammfunktion, konfigurierbarer Matrixfilter
- Berechnung quantitativer Linienprofile aus Bilddaten
- Datenexport von Punkt-, Linescandaten, Messdaten als *.xls, *.html, *.txt
- Äquidensitendarstellung mit Bestimmung von Flächenanteilen
- halbautomatische Strukturbreitenmessung (optional)
- kontextsensitive Hilfe