EBAC/RCI Bildaufnahme

EBAC/RCI Bildaufnahme

EBAC/RCI Messsystem

Spüren Sie Kurzschlüsse, Unterbrechungen und hochohmige Verbindungen in ICs im REM auf und bilden Sie diese wirkungsvoll ab mit dem EBAC/RCI* Bildsystem. Erzeugen Sie Bilder mit Strömen eines Bruchteils des Probenstroms mit dem Low-Noise/High-Gain Verstärker, Rausch-Unterdrückung und dem optionalen Lock-In-Verstärker. Nehmen Sie Potentialkontrast-Bilder mit der integrierten, einstellbaren Vorspannung und dem aktiven Scangenerator auf.

  • Bildaufnahmen mit Strömen im pA Bereich**
  • Justieren Sie ihr EBAC/RCI Signal optimal mit einem weiten Gain-Bereich, Fein-Kontrast und Nullpunktunterdrückung
  • Nehmen Sie Potentialkontrast-Bilder mit der integrierten Vorspannung auf
  • Veranschaulichen Sie das EBAC/RCI Signal mit dem live Farbmixer
  • Messen Sie Widerstände mit der Strom/Spannungs-Messfunktion
  • Exportieren Sie die kalibrierten Bild-, Linien- und Punktscandaten für weitere Analysen im XLS und 16 Bit TIFF Format
  • Optimieren Sie ihre Arbeitsabläufe mit konfigurierbaren Scanfunktionen
  • Nehmen Sie bis zu 4 analoge Signalquellen gleichzeitig auf (SE, RE, KL, ...)

* (Electron Beam Absorbed Current/Resistive Contrast Imaging)
** Probersystem, Verkabelung und das Verhalten der Probe unter Testbedingungen haben erheblichen Einfluss auf die Aufnahmequalität.