DISS 5 Lithografie
Ein Erweiterungsmodul für unser Bildaufnahmesystem DISS 5. Erfahren Sie mehr:
Lithografie Produktblatt (Größe: 252 KB)
Beschreibung
Lithografie ist ein Erweiterungsmodul zu unserem aktiven Bildaufnahmesystem DISS 5. Dieses preisgünstige Modul ermöglicht das Strukturieren von Oberflächen mit einem Ionenstrahl oder die partielle Belichtung von photosensitiven Schichten bis in den Nanometerbereich.
Die zeitlich parallele Anwendung von strukturierenden und bildgebenden Prozessen, gesteuert von ein und derselben Scan-Einheit, ermöglicht eine hohe Ortsauflösung, so dass keine aufwendigen Kalibrierungsarbeiten am Bildsystem notwendig sind. Der Anwender ist somit in der Lage, den Lithografieprozess zu beobachten und gegebenenfalls einzugreifen.
Das Lithografie-Modul besteht aus einer Hard- und Software. Die Hardware, ein digitaler Scangenerator mit automatischer Bildaufnahme, kann einfach an existierende Ionen- oder Elektronenstrahlsysteme angeschlossen werden. Die dazugehörige Software steuert den gesamten Lithografieprozess. In der Software ist zu der Lithografiesteuerung auch ein Werkzeug zum Erstellen von Masken enthalten.
Die 3-dimensionalen Strukturen entstehen am PC mithilfe eines Konstruktionsprogrammes, das skalierbare Vektorgrafiken (SVG) verwendet. Über dieses Format definiert sich auch die Schnittstelle zu anderen CAD-Programmen, so dass deren Import standardmäßig vorhanden ist. Das Konstruktionsprogramm ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet und ermöglicht ein zügiges Erstellen beliebiger 3D-Strukturen am PC.
Funktionsprinzip
Bildbeispiele
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REM-Aufnahme Siemensstern -
2D AFM-Aufnahme -
3D AFM-Aufnahme
Quelle der dargestellten Bildbeispiele: FZ Rossendorf, Dr. Bischoff