Unsere Elektronikaufrüstung zum Steuern und Bedienen der REM-Funktionen mit einem Computer. Erfahren Sie mehr:
Die Elektronik-Aufrüstung steuert alle Spulen der elektronenoptischen Säule, Gun Power Supply und die Detektorsysteme.
Als Videoeinheit wird DISS 5 eingesetzt. Das Mikroskop wird mit der Maus vom Computer oder mit einem speziellen Eingabegerät mit Drehreglern bedient.
Unser Gesamtkonzept ermöglicht ein schnelles Anpassen der Elektronik an verschiedene elektronenoptische Säulen. Das flexible Hard- und Softwarekonzept ermöglicht es auf einfache Weise Module hinzuzufügen, um das System zu erweitern.
Alle Einstellparameter werden gespeichert. Die Zusammenhänge zwischen den Einstellparametern (Hochspannung, Objektiv- und Kondensorlinsenstrom, Vergrößerung, Arbeitsabstand usw.) werden formelmäßig erfasst und bei der Installation vor Ort angepasst.
| Komponente |
Spezifikation |
| USB-Controller |
- Galvanisch gertennte USB 2.0 Schnittstelle zum Steuer-PC
- Kommunikation mit den Modulen
- Verwaltung systemübergreifender Parameter
- Konfigurierbarer Watchdog
|
| HV-VAC-Controller |
- 8 × 16 Bit DAC uni-/bipolar ±10 V
- Analoge Ausgänge für:
- Einstellung Gun Power Supply (HV, Filament, Emissionsstrom)
- SE/KL Kontrast (PMT HV)
- SE/KL/RE Helligkeit (Offset Vorverstärker)
- Absaugspannung
- 5 × 10 Bit ADC für Emission, VAC, Betriebsspannungen
- 16 digitale Eingänge und 16 digitale Ausgänge
- Überwachung der Vakuumsicherheit
- Überwachung der Betriebsbereitschaft von Stromversorgungen und Hochspannung
- Einschalten der Stromversorgungen und Hochspannungen
- Abschaltung der Elektronik bei Fehlfunktion
- Konfigurierbarer Watchdog
|
| Modul für Ablenkspulen |
- 2/4 Endstufen für Einfach/Doppelspulenablenksystem
- Vergrößerungseinstellung: 4 Stufen und 16 Bit fein
- Scanrotation
- ScanShift fein
- Korrektur Tilt, Orthogonalität, Rotation Offset
|
| Modul mit bipolaren Stromquellen |
- 8 × 16 Bit DAC für Strom/Spannungsquellen
- 4 × ±500 mA
- 4 × ±10 V
- Beam Shift, Tilt Spulen
- Image Shift Spulen
- Stigmator Spulen (8-polig)
- Filamentabbildung, Stigmatorimage
|
| Modul für Objektiv- und Kondensorlinsen |
- Unipolare Konstantstromquellen
- Objektivlinse: 2 × 16 Bit DAC (grob und fein), max. 6,5 A
- 2 × Kondensorlinse: je Linse 16 Bit DAC, max. 6,5 A
|
| Bildsystem |
- Max. 16.384 × 16.384 Pixel, freies Bildformat
- 200 ns Pixelclock
- 4 × 12 Bit D/A Wandler für analoge Bildsignale
- 12 × 16 Bit Zähler für Mapping
- Synchrone Aufnahme von 4 analogen und 12 digitalen Bildsignalen
|
| Videoverstärker |
- Eingänge für bis zu 8 analoge Bildsignale
- Videoverstärker für 8 × Helligleit und Kontrast
- Ansteuerung von 2 PMT mit Helligleit Kontrast
|
| Stromversorgungen |
- Analoge Stromversorgungen ±15 V, +5 V, +12 V
- Schaltnetzteile für Hochstrom Objektiv/Kondensor-Linsen
- 2 × 0 bis 1,5 kV Modul für PMTs
- 12 kV Modul für Scintillator
- 0 bis 400 V Absaugspannung
|
| SEM Bedienpult (optional) |
- 4 Encoder mit umschaltbarer Funktion
- Display zur Anzeige von Funktionen und Werten
|
| Steuersoftware |
Die Elektronikeinheit wird vollständig vom PC mit der Steuersoftware bedient. Die Steuersoftware ist kompatibel mit Windows 2000 bis Windows 7. Folgende Funktionen sind realisiert:
- Hochfahren des Gesamtsystems automatisch oder schrittweise mit der letzten Konfiguration
- Sichern und Laden gespeicherter Konfigurationen
- Einstellung von Hochspannung, Filamentstrom, Emissionsstrom
- langsames Hochfahren von Hochspannung und Filamentstrom
- Justierung des Elektronenstrahls mit Beam Shift, Beam Tilt
- Einstellung des Strahlstroms mit Kondensorlinse
- Fokussierung mit Objektiv grob/fein
- Justierung Stigmator
- Einstellung von Helligkeit, Kontrast, Vergrößerung
- Bildverschiebung
- definierter Arbeitsabstand für EDX
- Übergabe der Parameter (Mag, HV, WD) an das Bildsystem
|
| Bildaufnahme |
- Kompatibel mit Windows 2000 bis Windows 7
- Livebild mit Vollbildmodus
- Slow Scan, Mapping
- Max. 16.384 × 16.384 Pixel, freies Bildformat
- Simultane Aufnahme aller Bildsignale
- Bis zu 32.000-fach Oversampling für rauschfreie Bilder
- Lineaveraging, Frameaveraging
- Reduced Area Scan mit Zoomfunktion für Fokussierung und Astigmatismus-Korrektur
- Mapping, Linescan, Punktmessung, ROI-Messung, qualitativ+quantitativ mit EDS/WDS
- Export von Linienprofilen als Bild oder Messdaten von Linescan und Punktmessung
- AVI-Funktion zur Aufnahme von Videosequenzen, mit Zeitrafferfunktion (optional)
- Channel-Mixer zum Live-Mischen der Bildsignale mit wählbarer Farbzuordnung, Topo/Combo Funktion
- Signalmonitor zur Kontrolle der Bildsignale, Live Gamma und Gradationskurven
- Abstandsmessung im Livebild
- Trigger-Eingänge und Clock-Ausgänge für Punkt, Linie, Bild
- Synchronisation des Slow-Scans auf Netzfrequenz
- Bildlaufleiste zum temporären Speichern der Bilder
- Konfigurierbare Bildunterschrift
- Reportgenerator (Option)
- Konfigurierbare Bildaufnahmefunktionen für Routinearbeiten:
- Scantasten können erstellt und benannt werden
- Bildauflösung und Bildformat
- Signalquellen
- Oversampling bis 32.000-fach
- Lineaveraging bis 50-fach
- Frameaveraging bis 256-fach
- Gatezeit für Mapping
- Automatik für Helligkeit und Kontrast
- TWAIN-Schnittstelle zur Integration als OEM Produkt (z.B. in Bilddatenbanken)
- Acquisition-Library zum Erstellen eigener Aufnahmesoftware
- Kontextsensitive Online-Hilfe
|
| Bildbearbeitung |
- Kompatibel mit Windows 2000 bis Windows 7
- Image Browser
- Öffnen von Bildern der Formate TIFF, BMP, JPEG, PNG, GIF
- Speichern von Bildern im Format TIFF, BMP, JPEG, PNG, GIF
- Speichern von Bilddaten, Kalibrierung, Punkt-, Linescandaten im Bild
- Auto-Speichern Funktion
- Layoutfunktion zum Aufnehmen und Speichern zusammengehöriger Bilder
- Drucken von Einzelbildern oder Layouts mit verschiedenem Zoom
- Erstellen von Bildausschnitten
- Drehen von Bildern
- Messfunktion für Längen, Winkel, Radien
- Bemaßung auch im Bild
- Beschriftungen im Bild
- Konfigurierbare Bildunterschrift mit Mikronmarker und Bildparametern
- Falschfarbdarstellung von Bildern, Bildmischfunktion
- Helligkeit, Kontrast, Histogrammfunktion, konfigurierbarer Matrixfilter
- Äquidensitendarstellung mit Bestimmung von Flächenanteilen (optional)
- Datenexport von Punkt-, Linescandaten, Messdaten als *.xls, *.html, *.txt (optional)
- Halbautomatische Strukturbreitenmessung (optional)
- Phasenanalyse (optional)
- Kontextsensitive Online-Hilfe
- Verfügbar als Arbeitsplatzversion
|
