Zubehör/Optionen

Strukturbreitenmessung

Erweiterungsmodul für DIPS zur halbautomatischen Messung von Strukturen

  • halbautomatische Strukturbreitenmessung von Halbleiterstrukturen zur Minimierung von Messfehlern
  • Schwellwertmethode: Auswahl der Flanken mit der Maus, automatische Ermittlung der Schwelle zwischen Minimum und Maximum der Flanke
  • visuelle Kontrolle durch Linienprofil und Anzeige der gemessene Strecke im Bild
  • Mittelung der Messung über mehrere Linien möglich
  • Spline-Interpolation zur Rauschunterdrückung, ermöglicht Messungen im Sub-Pixel-Bereich
  • indirekter Messmodus möglich
  • Bemaßung im Bild
  • Übernahme der Messdaten in eine Messwertetabelle

Bilder