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SUMMARY:Ultra-Low pA-level noise EBIC and RCI of high impedance samples
DESCRIPTION:Nanoprobing-Bildgebungsequipment für die Electron Beam Absorbe
 d Current/Resistive Contrast Imaging (EBAC/RCI) und Electron Beam Induced 
 Current (EBIC) Technik finden breite Anwendung in der Prozesssteuerung und
  -entwicklung im Halbleiterbereich. Mit der Verkleinerung der Bauelemente 
 gewinnen Schäden durch den Elektronenstrahl zunehmend an Bedeutung\, was 
 niedrigere Strahlspannungen und -ströme erforderlich macht. Niedrigere St
 röme führen jedoch zu einer Verringerung der Nanoprobing-Bildsignale und
  des Signal-Rausch-Verhältnisses. In diesem Vortrag wird ein neuartiger r
 auscharmer Verstärker im pA-Bereich für RCI- und EBIC-Messungen an hocho
 hmigen Proben vorgestellt\, der einen Spitzen-Spitzen-Rauschpegel von 3 pA
  erreicht. Seine Leistung wird experimentell mit einem Referenzverstärker
  verglichen\, wobei die verbesserten RCI-Messfähigkeiten und neue Betrieb
 sgrenzen hervorgehoben werden.
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 hop-2026/
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