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SUMMARY:Practical Aspects of Surface Roughness Measurements with Topographi
 c SEM
DESCRIPTION:In unserem Poster stellen wir das Rasterelektronenmikroskop (RE
 M) als eine effektive Methode zur Messung der Oberflächenrauheit vor\, mi
 t der Proben im Mikro- bis Nanometerbereich mit einer höheren lateralen A
 uflösung charakterisiert werden können als mit herkömmlichen optischen 
 Verfahren.\n\nWir veranschaulichen dies durch einen Vergleich der mit dem 
 REM gemessenen Rauheitswerte mit einem handelsüblichen Silizium-Rauheitss
 tandard\, wobei wir unser point electronic BSE-Topographiesystem und die M
 ountainsMap-Software für eine ISO 25178-konforme Analyse einsetzen.\n\nDr
 . Grigore Moldovan (CTO)\n\nPoster Session 1
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