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SUMMARY:Advances in Quantitative STEM EBIC
DESCRIPTION:In unserem Talk stellen wir Entwicklungen für die quantitative
  STEM-EBIC-Messung (Electron Beam Induced Current) vor und präsentieren e
 inen Hardware-Kalibrierungsansatz\, der die Rohbild-Pixelwerte direkt in p
 hysikalische Stromwerte im nA-Bereich umwandelt - ohne dass bei Änderunge
 n der Geräteeinstellungen eine Neukalibrierung erforderlich ist.\n\nDie M
 ethode bietet darüber hinaus einen optimierten Arbeitsablauf für die Hin
 tergrundunterdrückung und die automatisierte Anpassung von Line-Profilen\
 , wodurch die Extraktion physikalischer Parameter wie der effektiven Diffu
 sionslänge von Minoritätsladungsträgern in Halbleiterbauelementen ermö
 glicht wird.\n\nAlle Kalibrierungsdaten werden in den Metadaten der Bildda
 tei gespeichert\, wodurch der gesamte quantitative Arbeitsablauf online un
 d offline ohne zusätzliche Programmierung zugänglich ist.
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 y-and-microanalysis-2026/
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