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SUMMARY:Measurement of Surface Roughness with SEM
DESCRIPTION:In unserem Talk stellen wir das Rasterelektronenmikroskop (REM)
  als eine effektive Methode zur Messung der Oberflächenrauheit vor\, mit 
 der Proben im Mikro- bis Nanometerbereich mit einer höheren lateralen Auf
 lösung charakterisiert werden können als mit herkömmlichen optischen Ve
 rfahren.\n\nWir veranschaulichen dies durch einen Vergleich der mit dem RE
 M gemessenen Rauheitswerte mit einem handelsüblichen Silizium-Rauheitssta
 ndard\, wobei wir unser point electronic BSE-Topographiesystem und die Mou
 ntainsMap-Software für eine ISO 25178-konforme Analyse einsetzen.
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 y-and-microanalysis-2026/
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