EBAC

Die Aufnahme absorbierter Primärstrahlströme (EBAC für Electron Beam Absorbed Current) ist eine Analysetechnik der Elektronenmikroskopie mit der sich kompositionelle und topographische Eigenschaften der Probe darstellen lassen. Man könnte auch sagen: Bei dieser Technik wird die Probe selbst zum Elektronendetektor.

EBAC wird benutzt für:

  • Messung der Zusammensetzung mit hoher räumlicher Auflösung, insbesondere bei der InSitu Microscopy
  • automatisierte Erkennung wie zum Beispiel 3D scanning

EBIC, EBAC und EBAC/RCI: Wo ist der Unterschied?

Die EBAC Technik ist die Aufnahme absorbierter Primärstrahlströme (Electron Beam Absorbed Current). Diese Technik kann also an jeder Probe angewendet werden, die eine Leitfähigkeit größer 0 aufweist. Dabei wird die Probe nur an einer Stelle kontaktiert. Kontraste liefern Aufladungseffekte (Voltage contrast imaging) sowie die Materialabhängigkeit und Topographieabhängigkeit der Sekundärelektronenemission und des Rückstreukoeffizient. Eine Erweiterung der Technik ist EBAC/RCI. Hierbei wir die Probe an zwei Stellen kontaktiert. Die Position des Strahls teilt den Widerstand zwischen beiden Kontakten auf. Der Widerstandsverlauf und die Position des Strahls bestimmen den vom Verstärker gemessen Anteil des absorbierten Primärstrahlstromes. Es lässt sich die Widerstandsverteilung abbilden.

Die EBIC Technik ist die Aufnahme der an probeninternen elektrischen Feldern, elektronenstrahlinduzierten Ströme. Diese Technik wird bei Proben mit Bandlücke und probeninternen elektrischen Feld angewendet. Die Probe wird an beiden Seiten des internen Feldes kontaktiert. Entsprechend einer photovoltaischen Zelle fließt bei Anregung am probeninternen Feld ein Strom zwischen beiden Kontakten, welcher durch den point electronic EA Verstärker bestimmt wird.

Die gemessenen Stromstärken liegen bei der EBIC-Technik meist Größenordnungen über denen der EBAC-Technik. Der messtechnische Anspruch ist bei EBAC somit deutlich höher zu bewerten. Insbesondere bei EBAC-RCI ist die Vermessung kleiner Widerstände herausfordernd. Zur Reduzierung von Störsignalen hält Point electronic einen speziell entwickelten InSitu-Vorverstärker bereit, welcher zudem EBAC/RCI Vermessung von kleinen Widerständen bis runter zu 100 Ohm ermöglicht.