Zubehör/Optionen

3D Kalibriernormale

Kalibriernormale, Referenzdaten und Software für quantitative Topografiemessungen

Kalibriernormal

  • 3D-Kalibrierstrukturen mit Referenzmarken für automatisierte 3D-Kalibrierung
  • Verschiedene Größen für REM, AFM und optische 3D-Mikroskopie
  • 3 mehrstufigen Einzelpyramiden für X, Y und Z Kalibrierung
  • 1 kugelförmiges Element für 4Q-BSE Detektorjustierung

Kalibrierdaten

  • 3D-Referenzkoordinaten der Marker aus Messung mit metrologischem AFM
  • Verwendung für den Vergleich mit den gemessenen Koordinaten der Marker
  • Datei mit Referenzdaten für die Verwendung mit der 3D-Kalibriersoftware
  • Auslieferung auf USB-Stick

Kalibriersoftware

  • Automatische Berechnung der Kalibrierparameter mit statistischem Ansatz
  • Berechnung der Maßstäbe in X, Y und Z und aller Scherungen
  • Export der Korrekturparameter des Aufnahmesystems oder für die gemessenen Daten
  • Einzellizenz für Windows 10 … 7

m2c-calibration

Bilder