Zubehör/Optionen

Premium BSE-Detektor

Vier-Quadranten Rückstreu-Elektronendetektor (BSE) mit höchster Performance

Vorteile und Anwendungen

  • Lokalisierung von Partikeln/Korn unterschiedlicher Zusammensetzung oder kristallografischer Orientierung durch live BSE Abbildung
  • Abbildung unbeschichteter Oberflächen durch Reduktion von Aufladungseffekten bei hohen Scan-Geschwindigkeiten und Mittelwertbildung
  • Messung von Veränderungen der Atomzahl und des Z-Kontrastes über die Probenoberfläche
  • Unterscheidung von Material- und Topografiekontrast
  • Erzeugung von Farbbildern durch Kombination mehrerer Kanäle
  • Höhenmessungen mit dem optional erhältlichen Topografiemodul

Eigenschaften

  • Verwendung von Si-Sensoren für höchste Aufnahmegeschwindigkeiten bis zu 10ns/Pixel

  • Verbesserte Empfindlichkeit im low-kV Bereich bis zu minimal 1 kV Beschleunigungsspannung

  • In-situ Vorverstärker für maximale Geschwindigkeit bei minimalem Rauschen

  • Simultane Aufnahme und Verarbeitung von 4 Kanälen für Topografie- oder Materialkontrast

Spezifikationen

  • Sensor-Typ: 4Q Si-Diode in Detektorqualität
  • Befestigung: Sensorchip auf keramischer Platine
  • Öffnung für den Elektronenstrahl: 1, 2 oder 5 mm Durchmesser
  • Sensorgröße: 9 oder 12 mm Durchmesser
  • Empfindlichkeit: 1 kV minimale Beschleunigungsspannung
  • Vorverstärker: 4 Kanäle in situ
  • Vorverstärker-Charakteristik: 10^5 oder 10^6 V/A
  • Durchführung: 10 Pin LEMO (nur für Polschuh Detektorbefestigung)
  • Anschluss: DSub 9 Pin (werksseitig konfigurierbar)
  • Detektorgeschwindigkeit: 10 ns minimale Dwelltime
  • Detektorbefestigung: am Polschuh oder auf rückziehbarem Arm

Bilder