Ein moderner Probenhalter für die elektrische Analyse im REM, der nicht nur die Probe vom REM-Tisch isoliert und direkte elektrische Verbindungen bereitstellt, sondern auch das Signal der Probe mit einem eingebauten Vorverstärker misst. Der Premium-EA-Halter kann für die Techniken „Electron Beam Induced Current“ (EBIC) und „Resistive Contrast Imaging“ (RCI) verwendet werden, insbesondere für Proben mit niedriger Impedanz, bei denen das RCI-Signal auf einem ähnlichen Pegel liegt wie Rauschen, das von der elektrischen Vakuumdurchführung herrührt. Elektrische Verbindungen können mit steifen Drähten (Bronze) hergestellt werden, die auf Länge geschnitten, in Form gebogen und dann auf die Probe gedrückt werden. Alternativ können auch weiche Drähte verwendet werden, die an die Verbindungspunkte geklebt/gelötet werden. Für den elektrischen Anschluss an Verstärker oder Messgeräte außerhalb der Kammer ist eine mehrpolige elektrische Vakuumdurchführung vorgesehen.
Jeder elektrische Probenhalter ist mit einner mechanischen Aufnahme für den entsprechenden REM-Tisch ausgestattet. Bei Bedarf können die Proben auf einem Metalladapter platziert werden, um sie näher an das Polstück zu heben, oder auf einem 90-Grad-Metalladapter zur Querschnittsbildgebung. Es können zwei Proben gleichzeitig geladen und kontaktiert werden, eine über denVorverstärker in der Kammer und eine andere direkt über die Elektronik außerhalb der REM-Kammer.
Merkmale
- Keramikplatte mit mechanischer Aufnahme REM-Tisch spezifisch
- Vier elektrische Kontakte über Stifte oder Drähte, wovon zwei über den Vorverstärker relisiert werden
- Integrierter Faraday-Cup für quantitative Messungen
- Mehrpolige elektrische Durchführung
Vorteile
- Beste Leistung für RCI bei Geräten mit niedriger Impedanz
- Elektrische Isolation vom REM-Tisch
- Elektrische In-situ-Analyse oder Gerätecharakterisierung
- Probengeometrien in der Draufsicht und im Querschnitt können untersucht werdenn
- Quantitative Strahlstrommessungen für EBIC und RCI
