Unser Workshop 'EBIC am TEM - STEBIC', der heute in Zusammenarbeit mit dem Dresden Center for Nanoanalysis (DCN) an der Technischen Universität Dresden stattfand, war ein toller und interessanter Austausch mit allen Beteiligten!

Der Workshop bot die Möglichkeit zu erfahren und zu diskutieren, was mit den neuen Entwicklungen in der Elektrischen Analyse im TEM heute möglich ist, und bot eine praktische Erfahrung. Im Mittelpunkt stand das STEBIC-Verfahren (Scanning Transmission Electron Beam Induced Current), mit dem sich interne Felder in Verbindungen und Bauelementen abbilden lassen.

STEBIC ist ein neuer Fortschritt im TEM für die Erforschung und Charakterisierung neuartiger Nanobauteile in der Optoelektronik, Photovoltaik und Energietechnik sowie für Fortschritte bei der Fehleranalyse in der CMOS-Technologie.

Unsere Live-Demonstration zeigte die TEM-Probenvorbereitung, die wichtigsten Hardware- und Software-Geräte für EBIC im TEM und dessen Aufbau. Anschließend wurde die Technik am JEOL F-200 TEM bei DCN in Aktion vorgeführt.

Ein großes Dankeschön an unseren Kollegen René Hammer, der durch den Workshop führte, zusammen mit unserem Kollegen Mathias Mosig, dem DCN an der Technischen Universität Dresden mit Bernd Rellinghaus und seinem Team und allen, die organisiert und teilgenommen haben!