REM Elektrische Analyse
Elektrische Analyse im REM - System zur präzisen und schnellen Visualisierung elektronischer Eigenschaften und Defekte
Das Electrical Analysis System unterstützt alle elektrischen Analysetechniken im REM, darunter EBIC, RCI und EBIRCH, und ermöglicht so eine präzise und qualitativ hochwertige Darstellung elektronischer Eigenschaften und Defekte.
Es wird für die Forschung und Entwicklung einer breiten Palette neuartiger Bauelemente eingesetzt, von großflächigen Solarzellen, Photovoltaik, Optoelektronik und Hochleistungstransistoren bis hin zu nanometergroßen Drähten, Säulen und Punkten.
Erweiterte Funktionen für eine schnelle, intuitive Analyse und verbesserte Anwendungsvielfalt:
✅ Live-Farbmischung
✅ Proben-Biasing und Kompensation
✅ Ultraschnelle, synchronisierte Multi-Channel- und Multitechnik-Bildgebung für korrelative Analysen
✅ RCI-spezifische In-situ-Vorverstärkung
✅ Low noise in-situ-Vorverstärkung
✅Scanmodus-gestütztes Beam Blanking für Lock-In-EBIRCH
Unser EA for SEM System ist für quantitative Messungen ausgelegt, daher ist die Elektronik werkseitig kalibriert und die Software ist für die automatische Verwaltung von Metadaten und Messungen ausgelegt.
Das System besteht aus Hardware, Software und wählbaren Optionen.
Erforschen Sie elektrische Eigenschaften im Mikro-Maßstab
Nutzen Sie alle elektrischen Analysemethoden im REM.
Maps der internen elektrischen Felder
Mappen Sie aktive Bereiche von Übergängen und Kontakten.
Führen Sie quantifizierte Referenzprobenprüfungen durch.
Beobachten Sie das elektrische Verhalten unter Vorspannung und messen Sie die Diffusionslänge.
Elektrische Aktivität von Defekten
Identifizieren Sie Regionen mit erhöhter Rekombinationsaktivität.
Fahren Sie mit hochauflösenden Verfahren fort.
Exportieren Sie die Daten, um die Rekombinationsintensität zu quantifizieren.
Widerstand und Leitfähigkeit
Erfassen Sie den elektrischen Widerstand, um Kurzschlüsse, Unterbrechungen, Schwachstellen und Leckstrompfade in Bauteilen zu identifizieren.
Multisignal-Bildgebung - jetzt mit Topografie
Erfassen und visualisieren Sie elektrische Daten zusammen mit Informationen zur Zusammensetzung und Topografie - beispielsweise EBIC-Daten mit Topografie – für optimierte korrelative Arbeitsabläufe.
Rauschunterdrückung
Verwenden Sie den integrierten Lock-in-Verstärker mit scanmodusgestütztem Beam Blanking, um High-Current-Offsets und Niederfrequenzrauschen zu beseitigen.
Vielseitige Anwendungen
In-situ-Verstärker mit ultraschneller, rauscharmer Vorverstärkung und einem Rauschpegel im pA-Bereich für empfindliche Messobjekte und minimale Kohlenstoffverunreinigungen.
Optionaler RCI-In-situ-Verstärker für Proben mit niedrigem Widerstand bis hinunter zu 100 Ohm.
Höchster Integrations- und Automatisierungsgrad
Die Electrical-Analysis-Software für das REM umfasst die Steuerung des EA-Verstärkers, die Erfassung von EA- und REM-Bildern, die automatisierte Quantifizierung, das Current-Voltage Sweep Tool, Live-Bildüberlagerung. und unterstützt gängige Dateiformate.
Individualisierbare Workflows: Erstellbare und konfigurierbare Schaltflächen und Scan-Einstellungen, einschließlich Schnellscan zur Ausrichtung, hochauflösendes EA-Profil zur Analyse und gleichzeitiger EA/SE-Scan zur Lokalisierung.
Direkte Korrelation: Gleichzeitige Erfassung der elektrischen Analyse mit bis zu 20 weiteren Detektorsignalen, Live-Signalmischung und Verarbeitungswerkzeuge.
Integriertes Current-Voltage-Sweep-Tool: Konfigurierbarer Bereich, Punkte und Zeitablauf zur Überprüfung elektrischer Verbindungen und zur Inspektion auf Strahlschäden.
Integrierte Amplifier-Steuerung: In die Software integrierte, vollständige Steuerung aller Amplifier-Funktionen, einschließlich Routing, Kalibrierung, Gains, Offsets, Bias und Kompensation. Der automatische Zeitfilter passt sich der Scan-Geschwindigkeit an.
microDIP Bildverarbeitungs-App: Umfassender Bild- und Metadaten-Viewer mit automatisierter Quantifizierung, Pseudofarben, Profillinien-Extraktion, Messwerkzeugen und automatischer Bestimmung der Diffusionslänge.
Das beste quantitative EA-System für SEM
Als Komplettlösung ist die gesamte Elektronik vollständig integriert und wird per Software gesteuert.
EA Amplifier
Breitbandverstärkung für maximale Flexibilität, mit integrierter Vorspannung und Stromkompensation sowie werkseitig kalibrierten Gains und Offsets
EA Imaging
Mehrkanal-Bildgebungssystem zur gleichzeitigen Erfassung von EA- und anderen SEM-Signalen, optional mit Lock-in-Funktion.
Display Panel
Hardware-Bedienpanel mit Touchscreen und Drehknöpfen für eine einfache, schnelle und präzise Software-Steuerung.
EA Probenhalter
Kompatibel mit verschiedenen SEM-Tischen, einschließlich integrierter Faraday-Becher sowie optionaler Vorverstärker und Load-Lock-Kompatibilität.
DISS 6 and microDIP apps
DISS 6 Bildaufnahme und Verstärkersteuerung mit Farbmischung, Strom-Spannungs-Kurve (IV), Zeilenscans sowie Funktionen zur Überprüfung und zum Export kalibrierter Bilddaten. microDIP zur Bildverarbeitung.
Elektrische Analyse im REM - Broschüre
Die beste quantitative Elektronik und Software zur Analyse elektrischer Eigenschaften im REM und FIB/REM.
EA Verstärker
- Kalibrierte Hochgeschwindigkeitselektronik mit In-situ- und Ex-situ-Vorverstärkern
- Komplexe mehrstufige Verstärkung mit automatischem Tiefpassfilter
- Integriertes Picoampere-Meter zur Strahlstrommessung
- Integrierte Spannungsquelle für die Vorspannung
- Integrierte Stromquelle zur Kompensation
EA Imaging Controller
- Scanelektronik der neusten Generation
- Kalibrierte Digitalisierung mit 20-bit (EA) bzw. 12-bit (SEM), jeweils gespeichert als 16-bit
- Standardmäßig 4x kalibrierte, gleichzeitige SEM-Signaleingänge plus 1x kalibrierter EA-Eingang
- Bis zu 32.000-faches Oversampling durch Pixel-Averaging (max. 256x Frame-, 256x Line-Averaging)
- 64k × 64k Pixel maximale Auflösung (0,5 GPixel maximale Bildgröße)
- Pixelverweilzeit von 1 µs (EA-Eingangslimit) bis 6 ms
- Kalibrierte X- und Y-Scan-Ausgänge, optionale Beam-Blank-Ausgabe
- Optionale Bild-, Zeilen- und Pixelsynchronisation
Display Panel
- Präzise, intuitive und robuste Steuerung von Ereignissen und Aktionen
- Display mit 480 x 800 px (4,3“) und resistivem Touchscreen
- 4 Drehregler mit 360 Schritten pro Umdrehung sowie Summer und Vibrationsmotor für haptisches und akustisches Feedback
Premium EA Probenhalter
- 2 Kontaktnadeln für integrierten In-situ-Vorverstärker
- 2 Kontaktnadeln für ExSitu-Vorverstärker
- Halterung von planaren und Querschnittsproben
- integrierter Faraday Becher
DISS6 Bildaufnahme
- integrierte Software zur Bildaufnahme und Verstärkersteuerung
- ausgereifte Werkzeuge für Farbmischung von Bildern, I/V-Kurven und Linienscans
- Inspektions- und Exportfunktion kalibrierter Bild Daten
DIPS6 Bildbearbeitung
- Software zur Bildansicht
- Auslesen von Metadaten wie Scaneinstellungen
- Auslesen der quantifizierten Pixelwerte
EA Probenhalter
- 2 Kontaktnadeln für ExSitu-Vorverstärker
- Halterung von planaren und Querschnittsproben
- integrierter Faraday Becher
Probenhalter auf Kundenwunsch
- Probenhalter für verschiedene Anwendungen auf Anfrage.