EA Probenhalter

Ein moderner Probenhalter für die elektrische Analyse im REM, der nicht nur die Probe vom REM-Tisch isoliert sondern auch eine elektrische Verbindung für EBIC- (Electron Beam Induced Current) und RCI-Techniken (Resistive Contrast Imaging) bietet. Elektrische Verbindungen können mit steifen Drähten (Bronze) hergestellt werden, die auf Länge geschnitten, in Form gebogen und dann auf die Probe gedrückt werden. Für den elektrischen Anschluss an Verstärker oder Messgeräte außerhalb der Kammer ist eine mehrpolige elektrische Vakuumdurchführung vorgesehen. Jeder elektrische Probenhalter ist mit einner mechanischen Aufnahme für den entsprechenden REM-Tisch ausgestattet. Bei Bedarf können die Proben auf einem Metalladapter platziert werden, um sie näher an das Polstück zu heben, oder auf einem 90-Grad-Metalladapter zur Querschnittsbildgebung.

Merkmale

• Keramikplatte mit mechanischer Aufnahme zum REM-Tisch
• Zwei elektrische Verbindungen über Kontaktnadeln oder Drähte
• Integrierter Faraday-Cupfür quantitative Messungen
• Mehrpolige elektrische Durchführung

Vorteile

• Elektrische Isolierung vom REM-Tisch
• Elektrische In-situ-Analyse oder probencharakterisierung
• Probengeometrien in der Draufsicht und im Querschnitt
• Quantitative Strahlstrommessungen für EBIC und RCI