Die 3D-Kalibrierung ist eine Technik zur Überprüfung von Geräten, welche die räumliche Geometrie von Probenoberflächen messen.
Die resultierenden Geräteparameter werden dazu verwendet, entweder das Messgerät zu justieren oder die Messdaten zu korrigieren. Die 3D-Kalibrierung eignet sich für die Anwendung mit unterschiedlichen 3D-Mikroskopietechniken, wie CLSM (Konfokal/Laserscanmikroskopie), AFM (Rasterkraftmikroskopie) oder 3D-REM-Techniken.
Bei der 3D-Kalibrierung werden durch den Vergleich gegebener Referenzdaten mit gemessenen Geometrieparametern nicht nur die lateralen und Höhenmaßstäbe des Mikroskops ermittelt, sondern auch Abhängigkeiten zwischen den Messachsen und nichtlineare Messfehler. Die 3D-Kalibrierung besteht daher immer aus einer Softwarekomponente und der eigentlichen 3D-Kalibrierstruktur.
Für den automatisierten und zuverlässigen Ablauf des Kalibrierprozesses werden Pyramidenstrukturen mit räumlich verteilten Passmarken verwendet, welche sich mittels Bildverarbeitung hochgenau und schnell vermessen lassen. Zusammen mit einem Zertifikat wird somit die Rückführbarkeit der Messungen an dem kalibrierten Mikroskop gewährleistet.
