REM Modernisierung
Modernisieren Sie Ihr REM auf den neuesten Stand der Technik
Aktualisieren Sie Ihr bewährtes Elektronenmikroskop, um den aktuellen Standards gerecht zu werden! Unsere REM Modernisierung ersetzt veraltete oder nicht mehr wartbare Instrumente durch modernste Technik - von der Signalerfassung über die Steuerung bis hin zur Software. Jede Mikroskopkonfiguration und -installation wird individuell auf die Anforderung des Kunden zugeschnitten.
Unsere Modernisierung ist für viele Typen von Rasterelektronenmikroskopen (REM) möglich.
Das point electronic REM Modernisierung bringt Ihr Elektronenmikroskop auf den neuesten Stand von Performance, Techniken und Applikationen und sorgt dafür, dass es auch in den nächsten 10+ Jahren wartbar bleibt. Also: Nicht verschrotten, sondern modernisieren Sie!

Jede Modernisierung ist eine maßgeschneiderte Upgrade-Lösung
Wir statten Ihr REM mit komplett neuer Elektronik, Software und Steuerelementen aus, so dass das Gerät viele weitere Jahre sogar bessere Leistungen bringt.
Und: Wir bieten Ihnen eine Modernisierung, die auf Ihre spezifischen Bedürfnisse zugeschnitten ist.
Ihr Mikroskop bleibt dabei nicht nur für alle vorhandenen und zukünftigen Detektoren, Kameras etc. nutzbar. Wir passen die Modernisierung auch an Ihre benötigten technischen Möglichkeiten, Technologien und Anwendungen im REM an, bis hin zur Unterbringungslösung im Sockel oder in einem separaten Rack.
Wir beraten Sie gern.
Vorteile
Das bringt Ihnen die Modernisierung für Ihr REM:

Leistungssteigerung - vom Einlegen der Probe bis zum finalen Bild

ein wartungsfähiges System, inkl. 10+ Jahre Ersatzteilgarantie für die point electronic Teile

neue Techniken und Funktionen im SEM

Beibehaltung etablierter Arbeitsabläufe und Add-Ons

kosteneffizient, plus Kosten-Einsparung für Anschaffung, Betrieb und Wartung
Wie funktioniert die REM Modernisierung?
Wir optimieren Ihr Mikroskop genau nach Ihren Bedürfnissen - das heißt jedoch nicht, dass wir das ganze System austauschen. Mit unserem SEM Upgrade tauschen wir all das aus, was ausgetauscht werden muss und behalten bei, was Ihnen wichtig ist.
SIE BEHALTEN
Ihre Säule inkl. HV-PSU und Pumpen
Ihre Add-ons, je nach Funktionalität und Ihren Anforderungen
(z.B. EDX, EBSD, etc.)
Ihre etablierten/zertifizierten Arbeitsabläufe
Ihr Laborlayout und Ihre Zusatzgeräte
WIR INSTALLIEREN
Elektronik auf dem neuesten Stand der Technik
Benutzerfreundliche Software mit effizienten Arbeitsabläufen
Verbesserte Leistung
Netzwerk-Kompatibilität
Neue Techniken
Geringere Kosten
Umweltfreundlichkeit
Wie läuft die REM Modernisierung ab?
Nachdem wir das Upgrade auf Ihre Bedürfnisse, Spezifikationen und Bedingungen in Ihrem Labor hin konfiguriert haben, vereinbaren wir einen Service-Termin bei Ihnen:
- Wir kümmern uns um die Deinstallation Ihres alten Equipments.
- Wir installieren die REM Modernisierung für Sie vor Ort, in den meisten Fällen direkt in Ihrem Labor.
- point electronic Modernisierungen dauern etwa 3 Tage. Dadurch wird die Ausfallzeit auf ein Minimum reduziert.
- Mit unserer inkludierten Schulung werden Sie innerhalb von 1 Tag fit für unsere Anwendungen.
Vereinbaren Sie ein Demo mit uns oder fragen Sie unverbindlich ein Angebot an.
Nutzer-Erfahrungen
Was sagen unsere Nutzer und Partner über uns? Lesen Sie die Erfahrungen von Wissenschaftlern und Ingenieuren, die mit einem von point electronic modernisierten Mikroskop arbeiten. Was waren die Gründe für ein REM-Update, und was hat sich im Vergleich zu vorher verändert?

"Nach der Modernisierung mit dem point electronic Upgrade haben wir erstaunlich gute Bilder mit den bestehenden Detektoren (SE / BSE) aufnehmen können, in einer Qualität, die jene der Original-Hardware selbst zum Anschaffungszeitpunkt vor 22 Jahren bei Weitem übertraf. Auch die Bedienung mit den beiden zusätzlichen Panels inkl. Trackball und die durchdachte Softwaresteuerung des Geräts macht unheimlich Spaß damit zu arbeiten. Features der Software, wie z.B. die falschfarbenkodierte Kontrast- und Helligkeitseinstellung erleichtern die Bedienung ungemein."
Ao. Univ-Prof. Mag. Dr. Bernd Minnich, FRMS; Paris Lodron Universität Salzburg
über die REM-Modernisierung des FEI/PHILIPS ESEM XL-30

"Das LEO 1560 steht bei uns seit Ende 2001 und hat bisher sehr gute Dienste geleistet. Wir erhielten Anfang 2023 vom Hersteller die Mitteilung, dass das Gerät auf 1.Oktober 2023 abgekündigt wird. Da das LEO 1560 für uns ein Arbeitspferd ist, wurde eine Möglichkeit gesucht das Gerät, ohne Risiko eines Totalausfalls, noch länger zuverlässig betreiben zu können. Durch die Modernisierung (Austausch von Hard- und Software) durch point electronic konnte dies erreicht werden."
Bernd Leibold, Institut für Mikroelektronik Stuttgart IMS
über die REM Modernisierung eines LEO 1560

"Wir haben in den letzten Jahren zwei Rasterelektronenmikroskope und ein TEM umgerüstet. [...] Die alten Systeme konnten den gestiegenen Anforderungen, im Bereich der digitalen Bilderstellung, Dokumentation und Auswertung sowie der IT-Anbindung, nicht mehr genügen. Zudem gibt es für die Geräte bald keine Ersatzteile und damit auch keine Reparaturmöglichkeit mehr. Der technische Aufbau, sowie das Messprinzip der Geräte entsprechen jedoch weiterhin dem aktuellen technischen Standard. [...] Die Modernisierung durch point electronic stellt für uns eine preiswertere und Ressourcen schonendere Alternative zu einer Neuanschaffung dar."
Frank Steiniger, Elektronenmikroskopisches Zentrum des Universitätsklinikums Jena
über die REM-Modernisierung eines LEO DSM982 und eines LEO Gemini 1530

"Wir haben im HML bisher über mehrere Jahrzehnte ein JEOL JSM 6100 und als Nachfolger das ZEISS DSM 982 Gemini in der ursprünglichen Variante genutzt. Die Modernisierung ist vor allem für Neueinsteiger bzw. Personal, das die Anlage nur sporadisch nutzt, von immensem Vorteil aufgrund der intuitiven und anwenderfreundlichen Handhabung, die viele Dinge erleichtert."
Gaby Esser, Institut für Fusionsenergie und Nukleare Entsorgung (IFN) des Forschungszentrums Jülich GmbH
über die REM Modernisierung eines LEO DSM982
Key Features
Die Key Features und Einstellungen bei der Scan Generation und Image Acquisition im Video kurz erklärt.

Modernisierung für ausgewählte Modelle aller Mikroskop-Hersteller
Wir blicken zurück auf rund 200 Installationen unseres REM Upgrades. Für folgende Mikroskop-Modelle bieten wir REM-Modernisierungen:
Zeiss
- DSM 940, 940A, 960, 962, 982
- LEO / Leica 420, 430, 440
- LEO 1525, 1530, 1530VP, 1550, 1550VP, 1560
- LEO 1430, 1430VP, 1440, 1440VP, 1450, 1450VP, 1455, 1455 VP
- Zeiss SUPRA Serie mit und ohne VP
- Zeiss ULTRA / ULTRA Plus
- Zeiss Auriga (nur REM Säule ohne FIB)
Cambridge
- S90, S120, S200, S250, S260, S360
FEI / TFS
- FEI/Philips XL30, XL30 LaB6, XL30 ESEM, XL30 FEG, XL30 FEG ESEM
- FEI/Philips XL40, XL40 LaB6, XL40 ESEM, XL40 FEG, XL40 FEG ESEM
- FEI/Philips XL20

Was ist enthalten?
Steuerungen und Signalerfassung
- Neue REM-Steuerelektronik und -Software
- Unterstützung für MicrosoftWindows 7 bis 11, mit voller Netzwerkkompatibilität
- Universelle GUI für alle modernisierten Tools, herstellerunabhängig
- Vielseitiges und schnelles Scanning-System:
- Gleichzeitige Signalerfassung für bis zu 20 Signale (SE, BSE, EDS, WDS, etc.)
- Bildauflösung von bis zu 500 MPixeln
- Scangeschwindigkeit bis zu 10ns Verweilzeit
- Automatisierte Vakuum-, Gun-, Stage- und Detektorsteuerung
- Neue Hardpanels für Säulen-, Detektor- und Stagesteuerung
- IR-Kammera (für die meisten Modelle)
- PC und Monitor(e) oder Laptop (optional)
Techniken
- Atomic-Number Discrimination mit BSE-Detektoren
- Topographiemessungen mit Shape-from-Shadow
- Mikro-Analyse mit EDS-Detektoren und Mapping
- Elektrische Fehleranalyse mit EBIC und EBAC/RCI
Bequeme Steuerung - unsere Control Panels
Für die point electronic REM Modernisierung bieten wir zwei Optionen zur Steuerung:
Sie können unser SEM Control Panel entweder mit unserem Joystick Panel für die Stage kombinieren, oder mit unserem Trackball-Panel. Genauso, wie es für Sie am praktischsten ist:
Hier finden Sie Nutzerbberichte zu einigen REM-Modernisierungen, die wir für verschiedene Unternehmen und wissenschaftliche Institutionen in der letzten Zeit durchgeführt haben. Erfahren Sie mehr, warum sich die Nutzer für ein REM-Update entschieden haben, und welche Veränderungen gibt es im Vorher-Nachher-Vergleich?

Upgrade eines FEI/PHILIPS ESEM XL-30 für die Universität Salzburg
Können Sie uns etwas über Ihre Einrichtung erzählen?
Unsere Core Facility Elektronenmikroskopie an der Natur- und Lebenswissenschaftlichen Fakultät der Paris Lodron Universität Salzburg bietet Wissenschaftlern aus verschiedenen Fachgebieten der Physik, Biologie und Biomedizin, sowie auch den Kollegen aus den Landeskliniken in ihren verschiedenen medizinischen Disziplinen, die Möglichkeit ihre Proben in der REM und der TEM zu analysieren.
Was waren die Gründe für eine Modernisierung?
Der Hauptgrund für die Modernisierung unseres über 20 Jahre alten FEI XL-30 Rasterelektronenmikroskops waren mehrere technische Gebrechen der Hard- und Software, die letztendlich zu einem Totalausfall des Mikroskops führten. Damit einhergehend konnten viele Forschungsprojekte, Diplomarbeiten und Kurse in der Lehre nicht fortgeführt werden. Somit mussten wir schnell handeln und eine relativ kostengünstige Lösung zur Wiederinbetriebnahme des Geräts finden, da eine Neuanschaffung eines REM weder kurz- noch mittelfristig realisierbar gewesen wäre.
Was ermöglicht Ihnen das Mikroskop mit dem point electronic Upgrade jetzt?
Nach der Modernisierung mit dem point electronic Upgrade haben wir erstaunlich gute Bilder mit den bestehenden Detektoren (SE / BSE) aufnehmen können, in einer Qualität, die jene der Original-Hardware selbst zum Anschaffungszeitpunkt vor 22 Jahren bei Weitem übertraf. Auch die Bedienung mit den beiden zusätzlichen Panels inkl. Trackball und die durchdachte Softwaresteuerung des Geräts macht unheimlich Spaß damit zu arbeiten. Features der Software, wie z.B. die falschfarbenkodierte Kontrast- und Helligkeitseinstellung erleichtern die Bedienung ungemein.
Welche Erfahrungen haben Sie mit der Installation des Upgrades durch point electronic gemacht?
Der Upgrade Prozess ging sehr gut strukturiert und sehr schnell von statten. Nach Überlieferung der von point electronic angeforderten Gerätedaten (zB. Größe der Probenkammer, installierte Detektoren, …) erhielten wir einen verbindlichen Kostenvoranschlag mit 2 Varianten (inkl. und ohne ESEM-Modus). Nach unserer Auftragserteilung wurde uns ein zeitnahes Datum für den Upgrade Prozess mitgeteilt, welches seitens point electronic genau eingehalten wurde. Das Upgrade selbst war inkl. Einschulung innerhalb von 2 Tagen erledigt.
Sehr begeistert sind wir auch über den Telefonsupport, den wir gerade am Anfang nach der Umstellung des Öfteren in Anspruch genommen haben. Die Techniker sind äußerst kompetent und stets erreichbar. Auch wurde eine Fernwartung installiert, die bei Problembehebungen schon sehr dienlich war.

Modernisierung eines LEO 1560 für das Institut für Mikroelektronik Stuttgart IMS
Können Sie uns etwas über Ihre Einrichtung erzählen?
Am Institut für Mikroelektronik Stuttgart IMS forschen und produzieren wir für innovative Anwendungen der Mikroelektronik und Nanotechnologie. Als Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg stehen wir für Technologietransfer in die Wirtschaft. Wir verbinden universitäre Forschung und industrielle Anwendung mit zuverlässiger Kleinserienproduktion.
Was waren Ihre Gründe für eine Modernisierung?
Das LEO 1560 steht bei uns seit Ende 2001 und hat bisher sehr gute Dienste geleistet. Wir erhielten Anfang 2023 vom Hersteller die Mitteilung, dass das Gerät auf 1.Oktober 2023 abgekündigt wird. Da das LEO 1560 für uns ein Arbeitspferd ist, wurde eine Möglichkeit gesucht das Gerät, ohne Risiko eines Totalausfalls, noch länger zuverlässig betreiben zu können. Durch die Modernisierung (Austausch von Hard- und Software) durch point electronic konnte dies erreicht werden.
Welche Anwendungen nutzen Sie mit dem modernisierten Mikroskop?
Wir analysieren hauptsächlich Proben aus der Halbleiterfertigung. Dies sind meistens Waferbruchstücke mit Silizium als Grundmaterial mit unterschiedlichsten Strukturen. Der Anwendungsbereich wird sich durch die Modernisierung nicht ändern.

Modernisierung eines LEO DSM982 und eines LEO Gemini 1530 für das Universitätsklinikum Jena
Können Sie uns etwas über Ihre Einrichtung erzählen?
Das Elektronenmikroskopische Zentrum (EMZ) ist eine zentrale Einrichtung des Universitätsklinikums Jena (UKJ).
Es ermöglicht allen Einrichtungen des UKJ und zahlreichen anderen Instituten am Standort Jena die Kooperation im Hinblick auf elektronenmikroskopische Fragestellungen.
Die Elektronenmikroskopie bietet die einzigartige Möglichkeit, zelluläre Strukturen in ihrer funktionellen Umgebung in Nanometerauflösung darzustellen. Für die klinische- und biomedizinische Forschung sind elektronenmikroskopische Aufnahmen in vielen Fällen eine notwendige und informative Ergänzung zu molekularbiologischen und biochemischen Forschungsergebnissen.
Was waren Ihre Gründe für eine Modernisierung?
Wir haben in den letzten vier Jahren zwei Rasterelektronenmikroskope (REM) und ein TEM umgerüstet. Im Wesentlichen werden diese Geräte über einen Zeitraum von 15-25 Jahren betrieben. Die alten Systeme konnten den gestiegenen Anforderungen, im Bereich der digitalen Bilderstellung, Dokumentation und Auswertung sowie der IT-Anbindung, nicht mehr genügen. Zudem gibt es für die Geräte bald keine Ersatzteile und damit auch keine Reparaturmöglichkeit mehr. Der technische Aufbau, sowie das Messprinzip der Geräte entsprechen jedoch weiterhin dem aktuellen technischen Standard. Aus diesem Grund haben wir uns dafür entschieden, eine Modernisierung der veralteten digitalen Komponenten mit der Firma point electronic durchzuführen. Somit können die Geräte weiter genutzt werden. Die Modernisierung stellt für uns eine preiswertere und Ressourcen schonendere Alternative zu einer Neuanschaffung dar.
Was ermöglicht Ihnen das Mikroskop nach der point electronic Modernisierung?
Die Modernisierung der Firma point electronic bietet die Möglichkeit ein gut funktionierendes REM-Analysesystem preiswert so umzurüsten, dass es den aktuellen Anforderungen der digitalen Bilderstellung und den aktuellen IT-Anforderungen entspricht. Das vorhandene Schleusensystem (Kryo-REM) kann unverändert weiterverwendet werden. Durch die Modernisierung ist für alle wesentlichen Systemkomponenten ist die Reparaturoption für die nächsten Jahre sichergestellt.
Welche Anwendungen nutzen Sie mit dem modernisierten Mikroskop?
Mit dem REM-System wurden hoch-aufgelöste SE-Bilder sowie BSE-Bilder erstellt.
Biologische Proben: Insekten, Tierische-Zellen, Bakterien, Gewebe, Augen-Hornhaut, Zähne, Knochen, usw.
Materialproben: Nanopartikel, keramische Komposite, Kohlenstoffnanoröchen, Bakterien-Nanozellulose usw.
Wir planen aktuell eine nahezu identische Nutzung wie vor dem Upgrade. Durch die Modernisierung haben wir nun auch die Möglichkeit zusätzliche Detektoren in das Auswertesystem einzubinden Als Erweiterung ist die Installation eines HAADF-Detektors geplant der uns die Nutzung des STEM-Verfahrens ermöglicht.

Modernisierung eines LEO DSM982 für das Forschungszentrum Jülich
Können Sie uns etwas über Ihre Einrichtung erzählen?
Das Forschungszentrum Jülich trägt zu Lösungen großer gesellschaftlicher Herausforderungen in den Bereichen Information, Energie und Bioökonomie bei. Es fokussiert sich auf zukünftige Informationstechnologien, das menschliche Gehirn, den Energiesystemwandel und eine nachhaltige Bioökonomie. Mit interdisziplinären Ansätzen nutzt es Simulations- und Datenwissenschaften sowie einzigartige wissenschaftliche Infrastrukturen.
Im Institut für Energie- und Klimaforschung / Plasmaphysik (IEK-4) sind wir Teil einer weltweit vernetzten gemeinsamen Anstrenung, Fusionskraftwerke zu realisieren, um den Energieprozess der Sonne auf die Erde zu übertragen und eine nachhaltige Energieversorgung zu schaffen. Schwerpunkt ist die Energieauskopplung aus Fusionsreaktor-Brennkammern, die extremen Wärmebelastungen standhalten müssen. Geeignete Materialien und deren Interaktionen mit der Fusionsmaterie werden erforscht – auch in Kooperation mit globalen Fusionsexperimenten.
Das Hochtemperaturmateriallabor (HML) untersucht Werkstoffe und Komponenten für die Erste Wand und den Divertor der Fusionsanlagen ITER und DEMO unter fusionsrelevanten Bedingungen.
Was waren Ihre Gründe für eine Modernisierung?
Das ZEISS DSM 982 Gemini wurde als überarbeitetes Altgerät gekauft mit entsprechend alter Soft- und Hardware (z.B. interner Rechner, analoge Steuerung). Mit der Modernisierung sollte das Gerät für die zukünftige Nutzung ertüchtigt werden.
Was ermöglicht Ihnen das Mikroskop nach der point electronic Modernisierung?
Die von point electronic durchgeführte Modernisierung wurde von ZEISS selbst empfohlen und ermöglicht die elektronische Steuerung des Elektronenmikroskops im Gegensatz zur zuvor vorhandenen analogen Steuerung, wodurch die Bedienung einfacher und intuitiver geworden ist.
Wie empfinden Sie die Arbeit mit dem modernisierten Mikroskop?
Unter Berücksichtigung dessen, dass im HML über mehrere Jahrzehnte ein JEOL JSM 6100 und als Nachfolger das ZEISS DSM 982 Gemini in der ursprünglichen Variante genutzt wurde, ist die Modernisierung vor allem für Neueinsteiger bzw. Personal, das die Anlage nur sporadisch nutzt, von immensem Vorteil aufgrund der intuitiven und anwenderfreundlichen Handhabung, die viele Dinge erleichtert.

Neue Elektronik für das komplette SEM
- Neue Steuerung für die Gun-HV- und Elektronendetektoren
- Neue bipolare oder unipolare Hochspannungsversorgung
- Neues Scanmodul für Einzel- oder Doppelablenkspulen
- 12 digitale Eingangssignale (X-ray mapping)
- 19 Zoll, 10U Formfaktor Größe
- Standard USB 2.0 Schnittstelle

Control Panels
- Für erhöhte Geschwindigkeit und Produktivität erfahrener Anwender
- SEM-Panel mit Vergrößerung, Fokus, Bildverschiebung, Helligkeit, Kontrast, Stigmatismus, etc.
- Tischpanel mit Trackball oder Joystick, XYRZ-Sperren und Speicher-/Aufruffunktionen
- USB2 gesteuert und vollständig in die Mikroskopsteuerungssoftware integriert

MICS-4 Signalverstärker
- Für die Erweiterung der Bildkanäle um 4x
- Kanalunabhängige Steuerung von Helligkeit und Kontrast
- Erweiterte Eingangsoffset- und Verstärkungssteuerung sowie Kalibrierung
- USB2 gesteuert und vollständig in die Mikroskopsteuerungssoftware integriert

Tischsteuerung
- Für automatische Positionierung und Drehung
- Integrierte Click-and-Move-, Rotations- und großflächige Kartenerfassung
- Konfigurierbare Software-Grenzwerte zur Kollisionsvermeidung
- USB2-gesteuert und vollständig in die Mikroskopsteuerungssoftware integriert

SEM Control Software
- Ansteuerung von Spulen und Detektoren
- Anzeige von Messwerten
- Laden und Speichern der REM-Parameter
- Automatikfunktionen für Fokus/Stigmator und Helligkeit/Kontrast
- TV Scan, Slow Scan, Mapping, Line Scan, Punktmessung
- Reduzierter Area Scan mit Zoomfunktion
- AVI-Funktion mit Zeitraffer
- Erstellbare, konfigurierbare Scan und Speichertasten
- Steuerung des Vakuumsystem mit Anzeige des Vakuumschemas
- Integrierte Probentischsteuerung - Erstellen, Laden und Speichern vom Stage-/ Probenpositionstabellen
- Signal Monitor mit live-Histogramm
- Anzeige und Einstellung der Probenraumkamera
- Integrierte Bildbearbeitung
- Live 3D Rekonstruktion mit 4Q RE Detektor (optional)
- AutoSEM zur automatisierten Aufnahme mehrerer Probestellen (optional)

Activity Monitor
- Für detaillierte Informationen und vorbeugende Wartung
- Automatische Erfassung und Aufzeichnung der Betriebsparameter des Mikroskops
- 16x 16-Bit-Analogsignaleingänge und Software-API für die Protokollierung von Ereignissen
- Live- und Offline-Viewer mit PDF-Ausgabe
- USB 2.0-gesteuert und integriert in die neue Mikroskop-Steuerungssoftware

MICS 8 / 12 / 16 Signalverstärker
- Für die Erweiterung der Bildkanäle, um 8x, 12x oder 16x
- Kanalunabhängige Steuerung von Helligkeit und Kontrast
- Erweiterte Eingangsoffset- und Verstärkungssteuerung sowie Kalibrierung
- USB2 gesteuert und vollständig in die Mikroskopsteuerungssoftware integriert

EA Verstärker
- kalibrierte Hochgeschwindigkeitselektronik
- komplexe vielstufige Verstärkung mit automatischer Tiefpassfilterung
- integriertes Picoampermeter zur Strahlstrommessung
- integrierte Spannungsquelle zur elektrischen Vorspannung des Bauteils
- integrierte Stromquelle zur Kompensierung parasitärer Eingangsströme

EDS Detektor
- QUANTAX Compact System von Bruker, bestehend aus XFlash® 730M Silizium-Drift-Detektor (SDD), einem elektronischen Modul und der ESPRIT Compact Software
- Ermöglicht Linienabtastung und spektrale Elementzuordnung
- Qualitative und quantitative Materialanalysen
- Schnelle Analyse und Berichterstellung

HT BSE-Detektor
- 4Q segmentierte Elektroden mit eingebauter Vorspannung
- Elektroden sind lichtblind und mit Laserheizung kompatibel
- Bias-Spannung zum Abstoßen von Sekundärelektronen und thermischen Elektronen
- Elektroden können mit verschiedenen Materialien beschichtet werden
- leicht zu demontieren, zu reinigen und neu zu beschichten

Premium BSE-Detektor
- Schneller und hochsensitiver 4-Quadranten Si Sensor, für BSE-Signal optimiert
- In-situ Vorverstärker für optimale Effizienz und Geschwindigkeit
- Montage am Polschuh oder mit Retraktionsarm

microShape
- Software für die Visualisierung und Analyse von Topografiedaten
- Messung von Profillinien, Höhen, Abständen und Winkeln in 3D
- 3D Datenprozessierung mit Datenkorrektur und -überlagerung

microCal
- Software für die 3D Kalibrierung mit Reportfunktion
- Automatische Bestimmung der Maßstäbe und Scherungen in allen Raumrichtungen
- Statistische Auswertung und Analyse von nichtlinearen Geometrieabweichungen

Zusätzliche Optionen
Zusätzliche Add-ons und Software auf Anfrage.
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