EA Verstärker für REM
Messverstärker für die elektronische Analyse (EA) sind komplexe mehrstufige Verstärkungssysteme mit integrierten Strom- und Spannungsquellen. Alle Versionen verfügen über einen zweistufigen Hochgeschwindigkeits-Transimpedanzverstärker für die Bildgebung und ein zweites Low-Speed-Picoammeter für Strahlstrommessungen. Hochpräzise Spannungs- und Stromquellen sind in das kompakte Gehäuse integriert, wie sie für Biasing, IV-Sweeps und Kompensation benötigt werden. Das Design ist miniaturisiert, um die Kabellängen zu reduzieren und damit die Geschwindigkeit und das Signal-Rausch-Verhältnis zu optimieren.
Die EA-Verstärker sind für Ladungssammeltechniken ausgelegt.
Elektronenstrahlinduzierte Ströme (EBIC)
- Bilden Sie innere elektrische Felder in Halbleitern und Keramiken ab
- Charakterisieren Sie die elektrische Aktivität von Defekten
- Lokalisieren Sie Material- und/oder Verarbeitungsfehlern
Resistenz Contrast Imaging (EBAC/RCI)
- Lokalisieren Sie Unterbrechungen und Kurzschlüssen in Zwischenverbindungen
- Identifizieren Sie Schwachstellen in Oxidschichten
- Bilden Sie Widerstand mit hoher räumlicher Auflösung ab
Electron Beam Induced Current Change (EBIRCh)
- Lokalisieren Sie Defekte in Transistoren mit hoher räumlicher Auflösung
- punktgenaue Leckagen/Schwächen in Oxyden
- ähnlich mit Optical Beam Induced Resistance Change (OBIRCh)
