BSE Topografie
Topografiemessungen werden als geometrische Analysetechnik in der Elektronenmikroskopie verwendet, um hochaufgelöste 3D Messungen der Oberflächenform auszuführen. Diese Technik wird im REM und in FIB-REM Systemen für vielfältige Messaufgaben, angefangen von einfachen Koordinaten-, Abstands- und Winkelmessungen bis hin zu Volumen- und Rauheitsmessungen genutzt. Es handelt sich um eine spezielle Auswertung BSE-Messungen, mit der es möglich ist, die Topografie unabhängig von der Zusammensetzung der Probe zu bestimmen und damit Höhen- und Materialinformation simultan bereitzustellen.
EM-Topographiemessungen sind eine Schlüsseltechnologie für Analysen, welche auf die Unterscheidung zwischen der Probentopografie und -zusammensetzung angewiesen sind. Die Technik ermöglicht Messungen über einen weiten Vergrößerungsbereich für Proben mit unterschiedlichen Aspekt-Verhältnissen.

Komplexe Oberflächen
- Analyse von Bruchflächen
- Analyse von korrodierten Oberflächen
- Analyse von erodierten Materialien

Mechanische Präzisionswerkzeuge
- Inspektion von Messspitzen
- Inspektion von Schneidkanten

In-situ-Oberflächendynamik
- Hochtemperaturexperimente
- In-Situ-Reaktionen

BSE Akquisition
System zur quantitativen Erfassung rückgestreuter Elektronen (BSE)
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Topografische Analyse
System für Live- und kalibrierte Höhenmessungen, mit SEM oder FIB-SEM
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Digitale Bildgebung
Das leistungsstärkste und vielseitigste Bilderfassungssystem, basierend auf unserer bewährten DISS6-Engine
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3D Kalibrier Kit
System für Topographie-Kalibrierung für Elektronenmikroskope.
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REM Upgrade Kits
Ein zweites Leben für Ihr bestehendes REM - dank neuer Elektronik, Software und Steuerungen.
Mehr erfahren…Rekonstruktion in Echtzeit
- Rekonstruktion der Oberflächentopografie aus BSE-Signalen in Echtzeit
- Integrierte Software zur 3D-Visualisierung
- Konfigurierbare Scankonfiguration für integrierte SE- und BSE-Bildaufnahme
Automatische Kalibrierung
- Maßstabskalibrierung in allen drei Raumrichtungen
- Kalibrierung der Orthogonalität (Scherung) aller Achsen
- Analyse nichtlinearer Scanabweichungen
Universelles System
- Komplettsystem für die Nachrüstung an jedem REM oder FIB-REM
- BSE-Detektor wahlweise mit Retraktionsarm oder am Polschuh montiert
- Kalibriertes Scan- und Bildaufnahme-System
Detektor nach Wunsch
- Segmentierter hybrider oder monolithischer Detektor für höchste Auflösung
- Wahlweise lichtunempfindlicher Detektor für Hochtemperatur- und In-situ-Versuche
- In-situ Vorverstärker für maximale Geschwindigkeit bei optimalem Signal-Rausch-Verhältnis
3D-Software
- 3D Visualisierung mit freier Ansichtsauswahl, Zoom und Z-Skalierung
- Variable Einstellungen für Rendering und Farbkodierung
- Export der Topografie- und Bilddaten in Standard-Dateiformate
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Fraktografie
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Schneidkante
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Taktile Tastspitze
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Videos: DISS6 BSE Topografie
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Wissenschaftliche Veröffentlichungen
- Fracture characteristics and fracture mechanisms using deep learning and topography data PDF
- Development of Geometrical Analysis in SEM PDF
- Three-dimensional measurement of tip shape geometry with SEM PDF
- Live quantitative BSE acquisition with standard-less calibration PDF
- In-situ Messung der 3D-Topografie von Bruchflächen im REM PDF