BSE Topografie

Topografiemessungen werden als geometrische Analysetechnik in der Elektronenmikroskopie verwendet, um hochaufgelöste 3D Messungen der Oberflächenform auszuführen. Diese Technik wird im REM und in FIB-REM Systemen für vielfältige Messaufgaben, angefangen von einfachen Koordinaten-, Abstands- und Winkelmessungen bis hin zu Volumen- und Rauheitsmessungen genutzt. Es handelt sich um eine spezielle Auswertung BSE-Messungen, mit der es möglich ist, die Topografie unabhängig von der Zusammensetzung der Probe zu bestimmen und damit Höhen- und Materialinformation simultan bereitzustellen.

BSE-Topographiemessungen sind eine Schlüsseltechnologie für Analysen, welche auf die Unterscheidung zwischen der Probentopografie und -zusammensetzung angewiesen sind. Die Technik ermöglicht Messungen über einen weiten Vergrößerungsbereich für Proben mit unterschiedlichen Aspekt-Verhältnissen.

• Fraktografie