BSE Topografie

BSE Topografie - quantitative 3D-Oberflächentopografie

Topografiemessungen werden als geometrische Analysetechnik in der Elektronenmikroskopie verwendet, um hochaufgelöste 3D Messungen der Oberflächenform auszuführen. Diese Technik wird im REM und in FIB-REM Systemen für vielfältige Messaufgaben, angefangen von einfachen Koordinaten-, Abstands- und Winkelmessungen bis hin zu Volumen- und Rauheitsmessungen genutzt. Es handelt sich um eine spezielle Auswertung BSE-Messungen, mit der es möglich ist, die Topografie unabhängig von der Zusammensetzung der Probe zu bestimmen und damit Höhen- und Materialinformation simultan bereitzustellen.

BSE-Topographiemessungen sind eine Schlüsseltechnologie für Analysen, welche auf die Unterscheidung zwischen der Probentopografie und -zusammensetzung angewiesen sind. Die Technik ermöglicht Messungen über einen weiten Vergrößerungsbereich für Proben mit unterschiedlichen Aspekt-Verhältnissen.

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Topographische Analyse System

Mit dem System für Topografische Analyse bietet point electronic die Möglichkeit, Live- und kalibrierte Höhenmessungen im REM oder FIB-REM durchzuführen.

Das System besteht aus unserem Premium BSE Detektor, unserem DISS6 REM Scan Controller als Hochleistungs-Scangenerator- und -Bildaufnahme-System, einer 3D Kalibrierstruktur und einem Mehrkanal-Signalverstärker (MICS).

zum Topographische Analyse System

DISS6 REM Scan Controller

Premium BSE Detektor

3D Kalibrierstruktur

MICS Signalverstärker

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