Elektrische Analyse
Was ist elektrische Analyse mit dem Elektronenmikroskop?
Für die Elektronische Analyse (EA) mittels Elektronenmikroskopie stehen eine Reihe von Techniken zur Verfügung, mit denen sich fundamentale elektrische Eigenschaften von Materialien und elektronischen Bauteilen mit hoher räumlicher Auflösung abbilden und messen lassen.
Zum Beispiel erlauben es die Aufnahme absorbierter Primärstrahlströme (EBAC für Electron Beam Absorbed Current) sowie die Aufnahme von elektronenstrahlinduzierten Strömen (EBIC für Electron Beam Induced Current) die Widerstandsverläufe abzubilden (RCI für Resistive Contrast Imaging), die räumliche Verteilung interner Felder darzustellen, die Rekombinationsrate an Defekten zu messen usw.
Unsere Lösungen
Entdecken Sie Techniken, Systemlösungen und Produkte für die Elektrische Analyse im Elektronenmikroskop.
Techniken: Lösungen für Techniken wie EBIC, EBAC, RCI oder EBIRCh
Systeme: umfassende Lösungen für Anwendungen wie Elektrische Analyse für SEM, Elektrische Analyse für TEM oder Elektrische Fehleranalyse
Produkte: point electronic Produkte, die Ihre elektrische Analyse auf ein neues Level heben
RCI
Resistive Contrast Imaging - Rauscharme Abbildung von Strukturen mit niedriger Impedanz.
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EBIRCh
Messung Elektronenstrahlinduzierter Widerstandsänderung - Einfache Lokalisierung mit Live-Farbbildgebung
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EBIC
Messung und Analyse Elektronenstrahlinduzierter Ströme in Rasterelektronenmikroskopen
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EBAC
Messung Absorbierter Ströme (EBAC, Electron Beam Absorbed Currents). Zukunftsweisender Abbildungsmodus für ESEM und Hochtemperatur-SEM.
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Elektrische Analyse im TEM
In-situ Bilgebung von elektrischen Aktivitäten auf Nano-Level.
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Elektrische Analyse im REM
Die beste quantitative Elektronik und Software für die Analyse elektrischer Eigenschaften in SEM und FIB/SEM.
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Elektrische Fehleranalyse
Spezialisierte Ausrüstung für die Fehleranalyse, von der Einstiegsstufe bis zur High-End-Lösung.
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EA Verstärker
- kalibrierte Hochgeschwindigkeitselektronik
- komplexe vielstufige Verstärkung mit automatischer Tiefpassfilterung
- integriertes Picoampermeter zur Strahlstrommessung
- integrierte Spannungsquelle zur elektrischen Vorspannung des Bauteils
- integrierte Stromquelle zur Kompensierung parasitärer Eingangsströme
EFA Controller
- Einbindung von bis zu 8 Probenkontakten mit automatisierter Kontaktumschaltung
- kalibrierte Hochgeschwindigkeitselektronik
- komplexe vielstufige Verstärkung mit automatischer Tiefpassfilterung
- integriertes Picoampermeter zur Strahlstrommessung
- integrierte Spannungsquelle und Stromquelle zur Vorspannung sowie Kompensierung parasitärer Eingangsströme
- optional: Nieder- und Hochleistungs Versorgungseinheit für Nadelreinigung
- optional: In-Situ Vorverstärker für alle 8 Kontakte
- optional: Strom-Spannungs-Messung (I/V - Kurve)
REM Scan Controller (DISS6)
- Scanelektronik der neusten Generation
- Kalibrierte 16-bit Signaldigitalisierung
- Standardmäßig 4x gleichzeitige SEM-Signaleingänge
- Zusätzliche 8-fache simultane Eingänge für In-situ-Vorverstärker
- Unabhängige Helligkeits- und Kontraststeuerung für jedes Signal
TEM Scan Controller (DISS6)
- Integrierter Scan-Generator und Bilderfassung
- Große Pixelauflösung und hohe Abtastgeschwindigkeit
- Zweite digitale Verstärkungsstufe für EA
- Gleichzeitige BF-, HAADF- und EA-Eingänge
DISS6 Bildaufnahme
- integrierte Software zur Bildaufnahme und Verstärkersteuerung
- ausgereifte Werkzeuge für Farbmischung von Bildern, I/V-Kurven und Linienscans
- Inspektions- und Exportfunktion kalibrierter Bild Daten
DIPS6 Bildbearbeitung
- Software zur Bildansicht
- Auslesen von Metadaten wie Scaneinstellungen
- Auslesen der quantifizierten Pixelwerte