Wafertransportroboter in 300-mm-Waferfabriken erzeugen 9-kHz-Felder, die die Leistung von Elektronenstrahlwerkzeugen einschränken und ein Hindernis für das Erreichen des nächsten Halbleiter-CD-Knotens darstellen. Das SC26 ist ein System mit großer Bandbreite, das Magnetfelder von DC bis über 9 kHz aufheben kann. Um seine große Bandbreite zu erreichen, verwendet das SC26 in das Gehäuse des Elektronenstrahlinstruments installierte Kabel mit niedriger Induktivität.
Das SC26 verfügt über Eingänge für zwei 200-kHz-Wechselstromsensoren (blau), die es zur Optimierung der Leistung des Elektronenstrahlinstruments mischen kann. Diese bieten eine gute Auslöschung des Feldes bis zu einem Minimum von 10 Hz. Dies kann durch Hinzufügen eines "Sensor SC24/DC+AC" und eines Sensormischers für jeden verwendeten Eingangskanal auf Gleichstrom erweitert werden.
Das SC26 kann nicht mit längeren Kabeln in einer "Raum"-Installation verwendet werden, wie das SC24-System, das mit niedrigeren Frequenzen arbeitet.
[point electronic GmbH ist Partner für Magnetfelddämpfungssysteme von Spicer Consulting in Deutschland]
