DISS6
DISS6 Software - komplette SEM-Steuerung und Bildaufnahme
Die Bilderfassung und Steuerungsfunktionen sind in die DISS6-Software integriert, um mehrere Geräte zu verwalten, von Scan-Controllern, Verstärkern und Detektoren bis hin zu kompletten REMs. Der Arbeitsablauf ist mit konfigurierbaren Fenstern und Schaltflächen, gleichzeitiger Signalerfassung und Live-Signalinspektionstools hochgradig optimiert. Zu den Standardfunktionen gehören ROI (Region of Interest), Linien- und Punktscans, Live-Bildmischung in Farbe und automatische Quantifizierung von Analogsignalen.
Optionale Plugins passen in eine Reihe von fortgeschrittenen Techniken, darunter das Strom-Spannungs-Plugin für die elektrische Analyse, das Plugin für die topografische Rekonstruktion für die geometrische Analyse und ein IR-Chamberscope-Framegrabber-Plugin für REM-Upgrade-Kits. Die Software basiert auf Standarddateiformaten für Bilddaten, Metadaten, Konfiguration, Einstellungen und Fernkommunikation. Es ist Windows 11…7 kompatibel und nutzt USB- oder ETH-Schnittstellen zur Kommunikation mit der Hardware.
Die DISS6 Software ist die Steuerungssoftware für den DISS6 REM Scan Controller.
Vollständig konfigurierbare Arbeitsabläufe für individuelle Anforderungen
- Jedes Scanprofil im Workflow ist vollständig konfigurierbar
- Neue Scanprofile können aus Vorlagen für Live-View, ROI, Slow Scan und Mapping hinzugefügt werden
- Live-View- und ROI-Scans sind für eine schnelle Ausrichtung und Navigation optimiert
- Hochauflösende langsame Scans eignen sich am besten für gleichzeitige Signale, Lokalisierung und Mischen
- Mapping-Scans erfassen digitale Signale von Pulsprozessoren
Tools zur Live-Darstellung, Farbmischung und Quantifizierung von Pixelwerten
- Alle gleichzeitigen Signale werden als Bilder in Kacheln angezeigt
- Für optimale Helligkeits- und Kontrastanpassungen werden Live-Zeilenscan und Histogramm angezeigt
- Kalibrierte Messungen aus Pixelwerten werden live im Inspektionstool angezeigt
- Alle verfügbaren Signale können im Live-Farbbild gemischt werden
Flächen-, Linien- und Punktmessungen für Analysetechniken
- Flächen-, Linien- und Punkt-Scanprofile ermöglichen eine erweiterte Steuerung der Erfassungsparameter
- Subpixel-Scans verbessern die Abtastung bei komplexen Proben
- Für gleichzeitige Signale werden mehrere Live-Linienprofildiagramme angezeigt
- Scangeometrie und Daten werden in XLS und CVS exportiert
Bilder und Daten werden in gängigen Dateiformaten gespeichert
- TIF unkomprimierte Graustufendaten
- JPEG-komprimierte Graustufendaten
- PNG-Farbbilder
- XMP-Metadaten
- GGR-Farbverläufe
- XML-Formel
- CSV-Pixelwerte
BSE Topographie
Das BSE-Topographie-Plugin bietet die integrierte Live-3D-Rekonstruktion von Topographiedaten aus 4Q-BSE-Detektorsignalen mit Shape-from-Shading. Es wird in SEM und FIB-SEM für eine breite Palette von Messungen eingesetzt, von grundlegenden Koordinaten, Abständen oder Winkeln bis hin zu fortgeschrittenen Volumen-, Stufenhöhen- oder Rauheitscharakterisierungen.
- Live-3D-Ansicht von Topographiedaten mit verschiedenen Optionen für Rendering und farbige Ansichten, mit Drehen, Verschieben, Zoomen und Skalieren
- Berechnung von topographieunabhängigen Rückstreuwerten und Gradienten und Anwendung als Textur
- Speichern von gerenderten 3D-Ansichten (BMP), Topographiedaten (AL3D, SDF, 16-bit TIFF) und Textur (TIFF)
- Anpassung und Anwendung geometrischer Scankorrekturen
- Speichern von Kalibrierungsparametern für verschiedene REM-Setups
- Einstellen und Anwenden von Seiten- und Höhenmaßstabskorrekturen (erfordert 3D-Kalibrierungsstandard MMC-80-4BSD)
- Unabhängigkeit von Helligkeits- und Kontrastwechseln der BSE-Signale (erfordert kalibrierten MICS Verstärker)
- Frei konfigurierbare Detektorgeometrie (WD-Korrektur für unterschiedliche Montagehöhen, radiale Abstände, Montagewinkel)
Current-Voltage Sweep
Das Current-Voltage (IV) Sweep Tool nutzt die integrierte Vorspannungsquelle und Strommessung in den EA-Verstärkern und EFA-Controllern, um Gerätekurven automatisch aufzuzeichnen. Es wird verwendet, um den korrekten elektrischen Anschluss des Geräts zu überprüfen, die Vorspannung für EBIC- und EBIRCH-Techniken auszuwählen und während der Dauer des Experiments auf Strahlschäden zu prüfen.
- Konfigurierbarer Spannungsbereich, Anzahl der Punkte und Messzeit
- Automatische Bereichsauswahl für den gesamten Sweep oder für jeden Sweep-Punkt
- Live-Plot-Anzeige während der Messungen
- Export der Darstellung in eine Bilddatei und der Daten in eine Tabellenkalkulation
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DISS6 Software - Bildsteuerung und -aufnahme
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Topographie-Plugin
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