Geometrische Analyse
Was ist geometrische Analyse im Elektronenmikroskop?
Unter dem Begriff geometrische Analyse im REM werden Verfahren zusammengefasst, welche die Messung von Positionen, Abständen, Höhen, Winkeln, Oberflächenformen, Volumina von Proben und daraus abgeleiteten Parametern ermöglichen. Derzeit liegt der Schwerpunkt auf Techniken, die eine dreidimensionale (3D) Erkundung und Modellierung von Mikrostrukturen ermöglichen.
Diese fortschrittlichen Techniken haben auf der Grundlage der neuesten Generation von kalibrierter Elektronik und quantitativer Software, die die Komplexität des Betriebs reduzieren, die Rekonstruktionsalgorithmen automatisieren und die Genauigkeit der Endergebnisse verbessern, einen Sprung gemacht.
Unsere Lösungen
Entdecken Sie Techniken, Systemlösungen und Produkte für die Geometrische Analyse im Elektronenmikroskop.
Techniken: Lösungen für Techniken wie BSE Topographie oder 3D Calibrierung
Systeme: umfassende Lösungen für Anwendungen wie Topographische Analyse oder das point electronic 3D Kalibrier Kit
Produkte: point electronic Produkte für anspruchsvolle geometrische Analysen
BSE Topografie
Quantitative 3D-Oberflächentopografie im REM aus BSE-Signalen in Echtzeit
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3D Kalibrierung
Kalibriertechnologien für die 3D Mikroskopie zur schnellen und genauen Geometriekalibrierung von Elektronen- und Lichtmikroskopen.
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Topografische Analyse
System für Live- und kalibrierte Höhenmessungen, mit SEM oder FIB-SEM
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3D Kalibrier Kit
System für Topographie-Kalibrierung für Elektronenmikroskope.
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BSE Akquisition
System zur quantitativen Erfassung rückgestreuter Elektronen (BSE)
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3D Kalibrierstrukturen
- 3D Struktur für die Geometriekalibrierung in X, Y, Z
- Referenzinformation PTB rückgeführt
- Mit Referenzmarken für automatische 3D Kalibrierung
Premium BSE-Detektor
- Schneller und hochsensitiver 4-Quadranten Si Sensor, für BSE-Signal optimiert
- In-situ Vorverstärker für optimale Effizienz und Geschwindigkeit
- Montage am Polschuh oder mit Retraktionsarm
MICS Signalverstärker
- Für die Erweiterung der Bildkanäle, von 4x bis 16x
- Kanalunabhängige Steuerung von Helligkeit und Kontrast
- Erweiterte Eingangsoffset- und Verstärkungssteuerung sowie Kalibrierung
- USB2 gesteuert und vollständig in die Mikroskopsteuerungssoftware integriert
- optional verbaut im BSE Retraktionsmechanismus
DISS6 REM Scan Controller
- Bildaufnahme mit kalibrierter Hochleistungselektronik
- Integrierte kalibrierte Signalverstärkung mit Automatikfunktionen
- Simultane Aufnahme aller BSE-Signale
DISS6 Bildaufnahme mit Topografie-Plugin
- Ermittlung und Visualisierung der Probentopografie aus BSE-Daten in Echtzeit
- Quantitative Bildaufnahme und Detektorsteuerung
- Speichern der Topografie- und Bilddaten in Standard-Dateiformate
microShape
- Software für die Visualisierung und Analyse von Topografiedaten
- Messung von Profillinien, Höhen, Abständen und Winkeln in 3D
- 3D Datenprozessierung mit Datenkorrektur und -überlagerung
microCal
- Software für die 3D Kalibrierung mit Reportfunktion
- Automatische Bestimmung der Maßstäbe und Scherungen in allen Raumrichtungen
- Statistische Auswertung und Analyse von nichtlinearen Geometrieabweichungen
DIPS6 Bildbearbeitung
- Software zur Anzeige quantitativer Bilddaten
- Überprüfung von Akquisitionsregelungen in Metadaten
- Extraktion quantitativer Pixelwerte
Wissenschaftliche Veröffentlichungen
Poster
- Machine Learning and Topographic SEM Imaging for Software Assisted Fractography PDF
- Three-dimensional measurement of tip shape geometry with SEM PDF
- A robust 3D scanning technique for SEM PDF
- In-situ Messung der 3D-Topografie von Bruchflächen im REM PDF
- Calibration of 3D reference standards using metrological large range AFM and calibrated confocal microscopy PDF