Umgebungsanalyse von Elektronenmikroskopen
Das Monitoring-System SC28 ist für die Umgebungsüberwachung von Elektronenstrahlgeräten, einschließlich Rasterelektronenmikroskopen (SEM), Transmissionselektronenmikroskopen (TEM), Elektronenstrahl-Lithographiegeräten und CDSEM-Geräten, konzipiert.
Es kann das Frequenzspektrum und die Daten der umgebenden Magnetfelder, Vibrationen, Schallpegel, Temperatur und relativen Luftfeuchtigkeit aufzeichnen. Es misst die Magnetfelder, Vibrationen und Schallpegel bei einer Frequenz von 2 kHz und die Temperatur/Luftfeuchtigkeit bei 1 Hz oder darunter. Die Messungen werden kontinuierlich und lückenlos durchgeführt, so dass kein Signal verpasst wird.
Die SC28-Software läuft auf einem Windows-PC, der mit demselben lokalen Netzwerk wie der SC28/SI verbunden ist. Sie erkennt die SC28/SI-Hardware automatisch, ohne dass die IP-Adresse im Voraus bekannt sein muss. Das SCplot-Programm ist in der SC28-Software enthalten und ermöglicht das Anzeigen und Drucken von Messwerten sowie das Speichern von Grafiken zur Verwendung in Berichten.
[point electronic GmbH is Partner von Spicer Consulting in Deutschland für Magnetddämpfungssysteme]
