Premium BSE Detektor

4-Quadranten-Detektor für kalibrierte Messungen und 3D-Analysen

Der Premium BSE-Detektor ist unser leistungsstärkster Si-basierter Detektor für Materialwissenschaften, Geologie und industrielle Anwendungen.

Eine Vier-Quadranten-Sensorgeometrie in Verbindung mit vier unabhängigen In-situ-Vorverstärkern bietet volle Flexibilität für die traditionellen COMPO- und TOPO-Modi oder den neuen kalibrierten 3D-Messmodus mit topografischer Rekonstruktion oder 3D-Scanning.

Im Lieferumfang ist ein motorisierter Einführ-/Rückzugsmechanismus mit Ausrichtungstisch für die Links-/Rechts- und Auf-/Ab-Richtung sowie ein Wellbalg für zuverlässiges Vakuum enthalten. Ein optionaler MICS-4-Verstärker kann in den Detektor integriert werden, um einen vollständig eigenständigen Detektor mit quantitativer Verstärkung, unabhängiger Helligkeits- und Kontraststeuerung und Hardware-Signalmischung zu erhalten.

Quantitative BSE (qBSE)

Bilden Sie die Dichte mit hoher räumlicher Auflösung ab
Charakterisieren Sie die Verteilung von Phasen
Zeigen Sie die Kristallographie mit Orientierungskontrast

BSE Topografie

Analysieren Sie von 3D-Oberflächen und komplexen Oberflächen
Überwachen Sie in-situ-Reaktionen, auch bei hohen Temperaturen
Charakterisieren Sie Fräsen und Zerspanung im FIB-SEM

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Premium BSE sensor

Si-Chip in Detektorqualität
Vier-Quadranten-Geometrie (4Q)
Chip auf Keramikplatine montiert
6 mm Innendurchmesser
20 mm Außendurchmesser
1 kV Mindestbeschleunigungsspannung

In-situ Preamplifier

In-situ-Mount
105 V/A Verstärkung
200 ns Mindestverweilzeit (abhängig von der Verstärkung)

Mechaniken (LIMA)

Port montiert, mit Vakuum-Wellbalg
Motorisierte Einführungs-/Rückzugsbewegung
-4...4 mm manuelle Seiten- und Höhenausrichtung
10 µm Repositionierungsschrittgröße
Integrierter Touch-Alarm, mit automatischem Stopp und Rückzug
Passive Kühlung

Haupt-Verstärker (MICS4) (optional)

4x unabhängige Signalkanäle
-1,25 ... 1,25 V (-50...50 mV mit Dämpfungsglied) Eingangsoffset
1x ... 1.800x Verstärkung
-1,25 ... 1,25 V Ausgangsoffset
3,4 MHz...34 Hz Tiefpassfilter
Automatisierte globale 4Q-Helligkeit und Kontrast
Automatisierte Eingangsoffsets (Dunkelkorrektur)
Automatisierte Verstärkungsnormalisierung (Helligkeitskorrektur)
COMPO-Hardware-Mischsignal (Summe von BSE1...BSE4)
TOPO Hardware-Mischsignal (Mischung von BSE1...BSE4)

Software - Steuerung

Detektorzeichnung mit wählbaren Quadranten
Regler für Vorspannung, Helligkeit und Kontrast
Einzelne Quadranten oder gruppierte COMPO/TOPO-Steuerung
Automatisches Anwählen eingefahrener/ausgefahrenen Positionen
Feinpositionierung/Einstellungen in mm-Einheiten
Windows 11 … Windows 7