Premium BSE Detektor
4-Quadranten-Detektor für kalibrierte Messungen und 3D-Analysen
Der Premium BSE-Detektor ist unser leistungsstärkster Si-basierter Detektor für Materialwissenschaften, Geologie und industrielle Anwendungen.
Eine Vier-Quadranten-Sensorgeometrie in Verbindung mit vier unabhängigen In-situ-Vorverstärkern bietet volle Flexibilität für die traditionellen COMPO- und TOPO-Modi oder den neuen kalibrierten 3D-Messmodus mit topografischer Rekonstruktion oder 3D-Scanning.
Im Lieferumfang ist ein motorisierter Einführ-/Rückzugsmechanismus mit Ausrichtungstisch für die Links-/Rechts- und Auf-/Ab-Richtung sowie ein Wellbalg für zuverlässiges Vakuum enthalten. Ein optionaler MICS-4-Verstärker kann in den Detektor integriert werden, um einen vollständig eigenständigen Detektor mit quantitativer Verstärkung, unabhängiger Helligkeits- und Kontraststeuerung und Hardware-Signalmischung zu erhalten.
Quantitative BSE (qBSE)
- Bilden Sie die Dichte mit hoher räumlicher Auflösung ab
- Charakterisieren Sie die Verteilung von Phasen
- Zeigen Sie die Kristallographie mit Orientierungskontrast
BSE Topografie
- Analysieren Sie von 3D-Oberflächen und komplexen Oberflächen
- Überwachen Sie in-situ-Reaktionen, auch bei hohen Temperaturen
- Charakterisieren Sie Fräsen und Zerspanung im FIB-SEM
Premium BSE sensor
- Si-Chip für Detektoren
- Vier-Quadranten-Geometrie (4Q)
- Chip auf Keramikplatine montiert
- 6 mm Innendurchmesser
- 20 mm Außendurchmesser
- 1 kV Mindestbeschleunigungsspannung
In-situ Preamplifier
- In-situ-Mount
- 105 V/A Verstärkung
- 200 ns Mindestverweilzeit (abhängig von der Verstärkung)
Mechaniken (LIMA)
- Port montiert, mit Vakuum-Wellbalg
- Motorisierte Einführungs-/Rückzugsbewegung
- -4...4 mm manuelle Seiten- und Höhenausrichtung
- 10 µm Repositionierungsschrittgröße
- Integrierter Touch-Alarm, mit automatischem Stopp und Rückzug
- Passive Kühlung
Haupt-Verstärker (MICS4) (optional)
- 4x unabhängige Signalkanäle
- -1,25 ... 1,25 V (-50...50 mV mit Dämpfungsglied) Eingangsoffset
- 1x ... 1.800x Verstärkung
- -1,25 ... 1,25 V Ausgangsoffset
- 3,4 MHz...34 Hz Tiefpassfilter
- Automatisierte globale 4Q-Helligkeit und Kontrast
- Automatisierte Eingangsoffsets (Dunkelkorrektur)
- Automatisierte Verstärkungsnormalisierung (Helligkeitskorrektur)
- COMPO-Hardware-Mischsignal (Summe von BSE1...BSE4)
- TOPO Hardware-Mischsignal (Mischung von BSE1...BSE4)
Software - Steuerung
- Detektorzeichnung mit wählbaren Quadranten
- Regler für Vorspannung, Helligkeit und Kontrast
- Einzelne Quadranten oder gruppierte COMPO/TOPO-Steuerung
- Automatisches Anwählen eingefahrener/ausgefahrenen Positionen
- Feinpositionierung/Einstellungen in mm-Einheiten
- Windows 11 … Windows 7
Software - In-situ Automation
- Öffnen/Speichern von Einstellungen im XML-Dateiformat
- JSON/RPC-Schnittstelle für die Fernsteuerung
- Automatisierte Helligkeit und Kontrast
-
Premium BSE Detektor
-
-
-
-
