RCI

Die Abbildung mit Hilfe des Widerstandskontrasts (RCI für resistive contrast imaging) ist eine Technik der Elektrischen Analyseim Rasterelektronenmikroskop und erlaubt die mit hoher Auflösung die räumliche Widerstandsverteilung abzubilden. Diese Technik wird insbesondere genutzt, um Fehleranalyse an Halbleiter Bauelemente zu betreiben. Diese Technik ist eine Erweiterung der EBAC Technik (Electron Beam absorbed current) und wir daher auch als EBAC/RCI bezeichnet.

Die EBAC/RCI Technik wird genutzt für:

• die elektrische Fehleranalyse von Halbleiterbauelementen wie Prozessoren, Datenspeicher und Sensoren
• zur Abbildung der Leitfähigkeit in Widerstandsstrukturen
• Rekonstruktion von Halbleiterbauelementen (reverse engineering)

EBIC, EBAC und EBAC/RCI: Wo ist der Unterschied?

Die EBAC Technik ist die Aufnahme absorbierter Primärstrahlströme (Electron Beam Absorbed Current). Diese Technik kann also an jeder Probe angewendet werden, die eine Leitfähigkeit größer 0 aufweist. Dabei wird die Probe nur an einer Stelle kontaktiert. Kontraste liefern Aufladungseffekte (Voltage contrast imaging) sowie die Materialabhängigkeit und Topographieabhängigkeit der Sekundärelektronenemission und des Rückstreukoeffizient. Eine Erweiterung der Technik ist EBAC/RCI. Hierbei wir die Probe an zwei Stellen kontaktiert. Die Position des Strahls teilt den Widerstand zwischen beiden Kontakten auf. Der Widerstandsverlauf und die Position des Strahls bestimmen den vom Verstärker gemessen Anteil des absorbierten Primärstrahlstromes. Es lässt sich die Widerstandsverteilung abbilden.

Die EBIC Technik ist die Aufnahme der an probeninternen elektrischen Feldern, elektronenstrahlinduzierten Ströme. Diese Technik wird bei Proben mit Bandlücke und probeninternen elektrischen Feld angewendet. Die Probe wird an beiden Seiten des internen Feldes kontaktiert. Entsprechend einer photovoltaischen Zelle fließt bei Anregung am probeninternen Feld ein Strom zwischen beiden Kontakten, welcher durch den point electronic EA Verstärker bestimmt wird.

Die gemessenen Stromstärken liegen bei der EBIC-Technik meist Größenordnungen über denen der EBAC-Technik. Der messtechnische Anspruch ist bei EBAC somit deutlich höher zu bewerten. Insbesondere bei EBAC-RCI ist die Vermessung kleiner Widerstände herausfordernd. Zur Reduzierung von Störsignalen hält Point electronic einen speziell entwickelten InSitu-Vorverstärker bereit, welcher zudem EBAC/RCI Vermessung von kleinen Widerständen bis runter zu 100Ohm ermöglicht.

• Interconnects

  

• Backside interconnects

  

• Open VIA

  

• Oxide leakage