3D Kalibrier Kit

3D-Kalibrierkit

Das 3D-Kalibrierkit ermöglicht die 3D-Messung der Kalibrierprobe. Durch den Import der gemessenen Daten in die Kalibrierungssoftware microCal Software können Sie eine automatische Analyse starten. Ergebnis aus dem Vergleich mit den Referenzdaten sind die Maßstäbe und Schereungen in allen drei Raumrichtungen. Das 3D Kalibrier-Kit bietet zudem eine integrierte Genauigkeitsanalyse und den Export der Kalibrierparameter für die Korrektur der Messdaten oder die Gerätejustierung.

Vorteile:

• Gleichzeitige Ermittlung lateraler und vertikaler Kalibrierparameter (Maßstab, Scherung)
• Bestimmung der Kopplung zwischen allen vertikalen und lateralen Achsen
• Effiziente und genaue Kalibrierung durch Verwendung von ist Bildverarbeitung und statistischen Methoden
• Software und Kalibrierstrukturen für verschiedene Mikroskope geeignet
• Optionales Kugelsegment zur Signaljustierung von segmentierten Rückstreudetektoren (BSE)

Kalibrierstandards und Software entsprechen der VDI/VDE-Richtlinie 2656 „Bestimmung geometrischer Größen unter Verwendung von Rastersondenmikroskopen – Kalibrierung von Messsystemen“.

Das System besteht aus Hardware und Software.

3D Kalibrierung - die Systemlösung

Mit dem 3D Kalibrierkit bietet point electronic die Möglichkeit, Elektronenmikroskope für die Topographie, d.h. die 3D-Materialanalyse von Proben zu kalibrieren.

Es besteht aus einem Kalibrierstandard mit Referenzdaten, und unserer Kalibriersoftware microCal.

Kalibrierstandard mit Referenzdaten

• 3D-Kalibrierstandard mit Referenzmarken zur automatisierten Kalibrierung
• Referenzdaten für rückführbare Kalibrierung
• Anwendbar für verschiedene Mikroskoptypen (3D-SEM, AFM, CLSM)

Kalibriersoftware microCal

• Automatisierte Berechnung aller räumlichen Kalibrierparameter mit statistischen Methoden
• Berechnung von lateralem und Höhenmaßstab und räumlicher Scherung
• Export von Gerätekorrekturparametern und Dokumentation der Ergebnisse