Topographische Analyse
Die BSE-Topografie wird in der Elektronenmikroskopie zur Untersuchung von Oberflächentopografien im Mikro- und Nanobereich eingesetzt und hilft den Forschern, Unterschiede in Höhe und Morphologie zu erkennen. Diese Technik ist von unschätzbarem Wert für die Charakterisierung von Probenoberflächen in SEM- und FIB-SEM-Umgebungen.
Unser BSE-Topografiesystem ermöglicht kalibrierte Live-Höhenmessungen mit jedem SEM oder FIB-SEM, so dass Forscher Oberflächenhöhen genau messen, Topografie von der Zusammensetzung unterscheiden, Oberflächenveränderungen in-situ überwachen, komplexe Oberflächen dreidimensional visualisieren und die topografische Live-Analyse nahtlos mit dem Komfort der Offline-Analyse fortsetzen können.
Die Software umfasst eine Live-Rekonstruktion der Oberflächenhöhe aus BSE-Signalen, ein integriertes 3D-Oberflächenvisualisierungstool und die Flexibilität konfigurierbarer Workflows mit nahtlos integrierten SE- und BSE-Scanprofilen.
Das System besteht aus Hardware und Software.

Oberflächenhöhe mit SEM messen
- Verwenden Sie konventionelle segmentierte BSE-Signale
- Messen Sie live mit automatischer topografischer Rekonstruktion
- Speichern Sie topografische Daten in Standard-Dateiformaten

Topographie-Aufbau-Unterscheidung
- Lösen Sie Unklarheiten bei der Bildinterpretation
- Erreichen Sie ein größeres Publikum mit 3D-Modellen, Visualisierung und Druck
- Messen Sie 3D-Entfernungen und Volumen

In-situ-Oberflächendynamik
- Zeichnen Sie die Oberflächenentwicklung während In-Situ-Experimenten auf
- Messen Sie Abweichungen von der nominalen Oberfläche
- Quantifizieren Sie 3D-Veränderungen für verschiedene Prozesse

Komplexe Oberflächen in 3D
- Fügen Sie Texturen aus SE-, EDS- oder EBSD-Karten hinzu
- Wenden Sie automatische Farbverläufe als Textur an
- Exportieren Sie 3D-Screenshots für eine eindrucksvolle Visualisierung

Kalibrieren und Messen von Höhen
- Kalibrieren Sie Messungen mit speziellen 3D-Proben
- Messen Sie 3D-Positionen, Abstände und Winkel
- Messen und Berichten Sie Höhenprofile

Live-Topografie und Offline-Analyse
- Importieren Sie die Daten in eine Software zur Analyse aller Merkmale
- Messen Sie die Oberflächenrauheit und analysieren Sie die Textur
- Analysieren Sie Morphologie, Korn- und Partikelverteilung

microShape - Oberflächentopographie
- Laden, Anzeigen und Bearbeiten von Höhen- und Texturebenen
- Ansicht und Bearbeitung von Daten in 3D
- Extrahieren und exportieren Sie 3D-Linienprofile
- Exportieren Sie Standard-PLY-Dateien für den 3D-Druck

Quantitative 4Q BSE
- Werkseitig kalibrierte Verstärkung und Digitalisierung
- Automatische Offset- und Verstärkungskorrekturen
- Live-Überprüfung der kalibrierten Pixelwerte

Live Topographie
- Schwenken, Drehen, Neigen, Zoomen und Höhenskalierung
- Verbessern Sie Ansichten mit Schatten und Pseudofarben
- Texturieren Sie mit BSE-Durchschnitt oder Oberflächenverläufen

Automatisierte 3D-Kalibrierung
- Verwenden Sie 3D-Referenzmuster zur Kalibrierung der Erfassung
- Rufen Sie automatische Skalierungsparameter für x, y und z ab
- Speichern Sie Skalierungsparameter für verschiedene SEM Konfigurationen

3D Kalibrierstrukturen
- 3D Struktur für die Geometriekalibrierung in X, Y, Z
- Referenzinformation PTB rückgeführt
- Mit Referenzmarken für automatische 3D Kalibrierung

Premium BSE-Detektor
- Schneller und hochsensitiver 4-Quadranten Si Sensor, für BSE-Signal optimiert
- In-situ Vorverstärker für optimale Effizienz und Geschwindigkeit
- Montage am Polschuh oder mit Retraktionsarm

MICS Signalverstärker
- Für die Erweiterung der Bildkanäle, von 4x bis 16x
- Kanalunabhängige Steuerung von Helligkeit und Kontrast
- Erweiterte Eingangsoffset- und Verstärkungssteuerung sowie Kalibrierung
- USB2 gesteuert und vollständig in die Mikroskopsteuerungssoftware integriert
- optional verbaut im BSE Retraktionsmechanismus

REM Scan Controller (DISS6)
- Bildaufnahme mit kalibrierter Hochleistungselektronik
- Integrierte kalibrierte Signalverstärkung mit Automatikfunktionen
- Simultane Aufnahme aller BSE-Signale

DISS6 Bildaufnahme mit Topografie-Plugin
- Ermittlung und Visualisierung der Probentopografie aus BSE-Daten in Echtzeit
- Quantitative Bildaufnahme und Detektorsteuerung
- Speichern der Topografie- und Bilddaten in Standard-Dateiformate

microShape
- Software für die Visualisierung und Analyse von Topografiedaten
- Messung von Profillinien, Höhen, Abständen und Winkeln in 3D
- 3D Datenprozessierung mit Datenkorrektur und -überlagerung

microCal
- Software für die 3D Kalibrierung mit Reportfunktion
- Automatische Bestimmung der Maßstäbe und Scherungen in allen Raumrichtungen
- Statistische Auswertung und Analyse von nichtlinearen Geometrieabweichungen

DIPS6 Bildbearbeitung
- Software zur Anzeige quantitativer Bilddaten
- Überprüfung von Akquisitionsregelungen in Metadaten
- Extraktion quantitativer Pixelwerte
Wissenschaftliche Veröffentlichungen
- Fracture characteristics and fracture mechanisms using deep learning and topography data PDF
- Development of Geometrical Analysis in SEM PDF
- Three-dimensional measurement of tip shape geometry with SEM PDF
- Live quantitative BSE acquisition with standard-less calibration PDF
- In-situ Messung der 3D-Topografie von Bruchflächen im REM PDF