Topographische Analyse

Die BSE-Topografie wird in der Elektronenmikroskopie zur Untersuchung von Oberflächentopografien im Mikro- und Nanobereich eingesetzt und hilft den Forschern, Unterschiede in Höhe und Morphologie zu erkennen. Diese Technik ist von unschätzbarem Wert für die Charakterisierung von Probenoberflächen in SEM- und FIB-SEM-Umgebungen.

Unser BSE-Topografiesystem ermöglicht kalibrierte Live-Höhenmessungen mit jedem SEM oder FIB-SEM, so dass Forscher Oberflächenhöhen genau messen, Topografie von der Zusammensetzung unterscheiden, Oberflächenveränderungen in-situ überwachen, komplexe Oberflächen dreidimensional visualisieren und die topografische Live-Analyse nahtlos mit dem Komfort der Offline-Analyse fortsetzen können.

Die Software umfasst eine Live-Rekonstruktion der Oberflächenhöhe aus BSE-Signalen, ein integriertes 3D-Oberflächenvisualisierungstool und die Flexibilität konfigurierbarer Workflows mit nahtlos integrierten SE- und BSE-Scanprofilen.

Das System besteht aus Hardware und Software.

Oberflächenhöhe mit SEM messen

  • Verwenden Sie konventionelle segmentierte BSE-Signale
  • Messen Sie live mit automatischer topografischer Rekonstruktion
  • Speichern Sie topografische Daten in Standard-Dateiformaten

Topographie-Aufbau-Unterscheidung

  • Lösen Sie Unklarheiten bei der Bildinterpretation
  • Erreichen Sie ein größeres Publikum mit 3D-Modellen, Visualisierung und Druck
  • Messen Sie 3D-Entfernungen und Volumen

In-situ-Oberflächendynamik

  • Zeichnen Sie die Oberflächenentwicklung während In-Situ-Experimenten auf
  • Messen Sie Abweichungen von der nominalen Oberfläche
  • Quantifizieren Sie 3D-Veränderungen für verschiedene Prozesse

Komplexe Oberflächen in 3D

  • Fügen Sie Texturen aus SE-, EDS- oder EBSD-Karten hinzu
  • Wenden Sie automatische Farbverläufe als Textur an
  • Exportieren Sie 3D-Screenshots für eine eindrucksvolle Visualisierung

Kalibrieren und Messen von Höhen

  • Kalibrieren Sie Messungen mit speziellen 3D-Proben
  • Messen Sie 3D-Positionen, Abstände und Winkel
  • Messen und Berichten Sie Höhenprofile

Live-Topografie und Offline-Analyse

  • Importieren Sie die Daten in eine Software zur Analyse aller Merkmale
  • Messen Sie die Oberflächenrauheit und analysieren Sie die Textur
  • Analysieren Sie Morphologie, Korn- und Partikelverteilung

microShape - Oberflächentopographie

  • Laden, Anzeigen und Bearbeiten von Höhen- und Texturebenen
  • Ansicht und Bearbeitung von Daten in 3D
  • Extrahieren und exportieren Sie 3D-Linienprofile
  • Exportieren Sie Standard-PLY-Dateien für den 3D-Druck

Quantitative 4Q BSE

  • Werkseitig kalibrierte Verstärkung und Digitalisierung
  • Automatische Offset- und Verstärkungskorrekturen
  • Live-Überprüfung der kalibrierten Pixelwerte

Live Topographie

  • Schwenken, Drehen, Neigen, Zoomen und Höhenskalierung
  • Verbessern Sie Ansichten mit Schatten und Pseudofarben
  • Texturieren Sie mit BSE-Durchschnitt oder Oberflächenverläufen

Automatisierte 3D-Kalibrierung

  • Verwenden Sie 3D-Referenzmuster zur Kalibrierung der Erfassung
  • Rufen Sie automatische Skalierungsparameter für x, y und z ab
  • Speichern Sie Skalierungsparameter für verschiedene SEM Konfigurationen