3D Kalibrier-Strukturen
Die 3D Kalibrierstrukturen bestehen aus einem Array von mehrstufigen Einzelpyramiden. Auf der Kalibrierstruktur befinden sich ringförmige Referenzmarken (Nanomarker), deren Zentren hochgenau eingemessen sind. Diese ermöglichen die Ermittlung der Maßstäbe und Kopplungen (Scherungen) aller drei Koordinatenachsen des verwendeten Messgeräts.
Zu jeder Kalibrierstruktur erhalten Sie eine Datei mit den zugehörigen Referenzinformationen. Durch die Verwendung von kodierten Referenzmarken eignen sich die Kalibrierstrukturen für automatisierte Kalibrierungsprozesse. Verwenden Sie dazu unser 3D Kalibrier-Kit mit der Kalibriersoftware microCal.
Die 3D Kalibrierstrukturen sind universell einsetzbar (3D-REM, AFM, CLSM). Andere Varianten dieser Kalibrierstrukturen sowie kundenspezifische Anpassungen sind auf Anfrage möglich.
