3D Kalibrier-Normale
3D Kalibriernormale für REM, AFM und CLSM
Die 3D Kalibrierstrukturen bestehen aus einem Array von mehrstufigen Einzelpyramiden. Auf der Kalibrierstruktur befinden sich ringförmige Referenzmarken (Nanomarker), deren Zentren hochgenau eingemessen sind. Diese ermöglichen die Ermittlung der Maßstäbe und Kopplungen (Scherungen) aller drei Koordinatenachsen des verwendeten Messgeräts.
Zu jeder Kalibrierstruktur erhalten Sie eine Datei mit den zugehörigen Referenzinformationen. Durch die Verwendung von kodierten Referenzmarken eignen sich die Kalibrierstrukturen für automatisierte Kalibrierungsprozesse. Verwenden Sie dazu unser 3D Kalibrier-Kit mit der Kalibriersoftware microCal.
Die 3D Kalibrierstrukturen sind universell einsetzbar (3D-REM, AFM, CLSM). Andere Varianten dieser Kalibrierstrukturen sowie kundenspezifische Anpassungen sind auf Anfrage möglich.
3D Kalibriernormal - Aufbau
Die 3D Kalibrierstruktur besteht aus einem Array von:
3 mehrstufigen Einzelpyramiden
1 kugelförmigem Element für die Kalibrierung der vier Rückstreu-Detektoren (Durchmesser: 10 µm, Höhe: ca. 1 µm)
Referenzmarkern (Nanomarker)
Auf der Kalibrierstruktur befinden sich ringförmige Nanomarker, deren Zentren hochgenau eingemessen sind.
Diese ermöglichen in Verbindung mit unserer 3D Kalibriersoftware microCal die Ermittlung der Maßstabsfehler Ihres 4Q-BSE-Detektor-Systems.
Zu jeder Kalibrierstruktur erhalten Sie eine Datei mit den zugehörigen Referenzinformationen.
Vorteile
One Step
Kalibrieren Sie Lage und Höhe simultan in einem Schritt.
One Model
Berücksichtigen Sie Kopplungen zwischen vertikalen und lateralen Geräteachsen.
One Click
Profitieren Sie von effizientester Kalibrierung dank modernster Bildverarbeitungstechniken.
One Reference
Setzen Sie dieselbe Kalibrierstruktur universell ein für SPM, CLSM, REM.
Kalibrier-Standard
- 3D-Kalibrierstrukturen mit Referenzmarken für automatisierte 3D-Kalibrierung
- Für REM, AFM und optische 3D-Mikroskopie
- 3 mehrstufigen Einzelpyramiden für X, Y und Z Kalibrierung
- 1 kugelförmiges Element für 4Q-BSE Detektorjustierung
Kalibrierdaten
- 3D-Referenzkoordinaten der Marker aus Messung mit metrologischem AFM
- Verwendung für den Vergleich mit den gemessenen Koordinaten der Marker
- Datei mit Referenzdaten für die Verwendung mit der 3D-Kalibriersoftware
- Auslieferung auf USB-Stick
Kalibriersoftware
- Automatische Berechnung der Kalibrierparameter mit statistischem Ansatz
- Berechnung der Maßstäbe in X, Y und Z und aller Scherungen
- Export der Korrekturparameter des Aufnahmesystems oder für die gemessenen Daten
- Einzellizenz für Windows 11 … 7
3D- Kalibrier-Standard - weitere Details
Strukturen für die Kalibrierung
- 3 mehrstufige pyramidenförmige Elemente
- 1 kugelförmiges Element
- Referenzmarken
Pyramidale Elemente
- Hergestellt durch FIB-Deposition
- 3 mit einer Nenngröße von 20 × 20 × 3 µm
Sphärisches Element
- Hergestellt durch FIB-Deposition
- 10 × 10 × 1 μm (nominal)
Elemente mit automatischer Erkennung
- Hergestellt durch FIB-Milling
- 800 nm Durchmesser (nominal)
Kalibrierungsbereich
- 80 × 80 µm
- 40 × 40 µm (einzelne Pyramide)
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Bilder
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