3D Kalibrier-Standards

3D Kalibriernormale für REM, AFM und CLSM

Die 3D Kalibrierstrukturen bestehen aus einem Array von mehrstufigen Einzelpyramiden. Auf der Kalibrierstruktur befinden sich ringförmige Referenzmarken (Nanomarker), deren Zentren hochgenau eingemessen sind. Diese ermöglichen die Ermittlung der Maßstäbe und Kopplungen (Scherungen) aller drei Koordinatenachsen des verwendeten Messgeräts.

Zu jeder Kalibrierstruktur erhalten Sie eine Datei mit den zugehörigen Referenzinformationen. Durch die Verwendung von kodierten Referenzmarken eignen sich die Kalibrierstrukturen für automatisierte Kalibrierungsprozesse. Verwenden Sie dazu unser 3D Kalibrier-Kit mit der Kalibriersoftware microCal.

Die 3D Kalibrierstrukturen sind universell einsetzbar (3D-REM, AFM, CLSM). Andere Varianten dieser Kalibrierstrukturen sowie kundenspezifische Anpassungen sind auf Anfrage möglich.

Vorteile

One Step

Kalibrieren Sie Kalibrierung Lage und Höhe simultan in einem Schritt

One Model

Berücksichtigen Sie Kopplungen zwischen vertikalen und lateralen Geräteachsen

One Click

Profitieren Sie von effizientester Kalibrierung dank modernster Bildverarbeitungstechniken

One Reference

Setzen Sie dieselbe Kalibrierstruktur universell ein für SPM, CLSM, REM

3D Kalibrierstruktur für REM

3D Normale für die Kalibrierung von Topographie-Messungen an einem REM mit 4-Quadrant BSE Detektor (4Q BSD).

Die 3D SEM Kalibrierstruktur besteht aus einem Array von 3 mehrstufigen Einzelpyramiden und zusätzlich einem kugelförmigen Element für die Kalibrierung der vier Rückstreu-Detektoren. Dieses hat einen Durchmesser von 10 µm und eine Höhe von ca. 1 µm. Auf der Kalibrierstruktur befinden sich ringförmige Referenzmarken (Nanomarker), deren Zentren hochgenau eingemessen sind. Diese ermöglichen in Verbindung mit unserer 3D Kalibriersoftware microCal die Ermittlung der Maßstabsfehler Ihres 4Q-BSE-Detektor-Systems. Zu jeder Kalibrierstruktur erhalten Sie eine Datei mit den zugehörigen Referenzinformationen.

Größe 90x90 µm²:

• 4 Struktren
• 3 Stufen
• 1000 nm Stufenhöhe
• 3000 nm Gesamthöhe
• 38,5° Flankenwinkel
• 800 nm Nanomarker Radius

Größe 45x45 µm²:

• 4 Struktren
• 3 Stufen
• 600 nm Stufenhöhe
• 1800 nm Gesamthöhe
• 56° Flankenwinkel
• 600 nm Nanomarker Radius

_{(Hinweis: Die Auflistung enthält nur nominelle Werte. Die tatsächlichen Dimensionen unterscheiden sich von diesen Werten. Für eine Kalibrierung sollten nur die Referenzmarken verwendet werden. Um eine rückführbare Kalibrierung zu gewährleisten, wird die Referenzmessung auf Nachfrage in der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) durchgeführt.)}

3D Kalibrierstruktur für AFM

3D Normale für die Kalibrierung von Topographie-Messungen an einem AFM.

Die 3D AFM Kalibrierstruktur besteht aus einem Array von 4 mehrstufigen Einzelpyramiden. Auf der Kalibrierstruktur befinden sich ringförmige Referenzmarken (Nanomarker), deren Zentren hochgenau eingemessen sind. Sie ermöglichen in Verbindung mit unserer 3D Kalibriersoftware microCal die Ermittlung der Maßstäbe und Kopplungen (Scherungen) aller drei Koordinatenachsen des verwendeten Messgeräts. Zu jeder Kalibrierstruktur erhalten Sie eine einer Datei mit den zugehörigen Referenzinformationen.

Die Kalibrierstruktur gibt es für verschiedene Scanbereiche (20 μm x 20 μm bis 80 μm x 80 μm). Für die Kalibrierung kann entweder der gesamte Bereich oder ein Teil (Einzelpyramide) verwendet werden..

Größe 90x90 µm²:

• 4 Struktren
• 3 Stufen
• 1000 nm Stufenhöhe
• 3000 nm Gesamthöhe
• 38,5° Flankenwinkel
• 800 nm Nanomarker Radius

Größe 45x45 µm²:

• 4 Struktren
• 3 Stufen
• 600 nm Stufenhöhe
• 1800 nm Gesamthöhe
• 56° Flankenwinkel
• 600 nm Nanomarker Radius

Größe 20x20 µm²:

• 4 Struktren
• 2 Stufen
• 300 nm Stufenhöhe
• 600 nm Gesamthöhe
• 46° Flankenwinkel
• 400 nm Nanomarker Radius

_{(Hinweis: Die Auflistung enthält nur nominelle Werte. Die tatsächlichen Dimensionen unterscheiden sich von diesen Werten. Für eine Kalibrierung sollten nur die Referenzmarken verwendet werden. Um eine rückführbare Kalibrierung zu gewährleisten, wird die Referenzmessung auf Nachfrage in der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) durchgeführt.)}

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