Die Anwendung eines 4-Quadrant-BSE-Detektors für die Topographiebestimmung von Probenoberflächen geht mit microShape einfach und schnell. Erweitern Sie Ihr Rasterelektronenmikroskop um die dritte Dimension und nutzen Sie folgende Vorteile:
- 3D Darstellung der Proben-Topographie
- Messung und Darstellung von Profilen
- Messung von 3D-Punktkoordinaten und Höhendifferenzen
- Berechnung von Raumstrecken und Raumwinkeln
Für quantitative 3D-Auswertungen ist eine Kalibrierung des verwendeten REM in Verbindung mit dem 4Q-BSE-Detektor erforderlich. Dafür empfehlen wir Kalibrierstrukturen und die zugehörige Kalibriersoftware microcal.
Diese Kalibrierstrukturen wurden speziell für die Anforderungen bei der 3D-Kalibrierung am REM entwickelt. Sie enthalten räumlich verteilte Referenzmarken und eine Kugelkalotte für die Kalibrierung der BSE-Detektoren. Durch den Vergleich der am REM gemessenen Referenzmarken mit den Soll-Koordinaten der Kalibrierstruktur werden die Maßstäbe in allen drei Raumrichtungen ermittelt und für die Korrektur der 3D-Oberflächenmodelle verwendet.
[Die Kalibrierstrukturen und die Kalibriersoftware wurden von m2c entwickelt, eine Marke der point electronic GmbH.]
