microShape
Die Anwendung eines 4-Quadrant-BSE-Detektors für die Topographiebestimmung von Probenoberflächen geht mit microShape einfach und schnell. Erweitern Sie Ihr Rasterelektronenmikroskop um die dritte Dimension und nutzen Sie folgende Vorteile:
- 3D Darstellung der Proben-Topographie
- Messung und Darstellung von Profilen
- Messung von 3D-Punktkoordinaten und Höhendifferenzen
- Berechnung von Raumstrecken und Raumwinkeln
Für quantitative 3D-Auswertungen ist eine Kalibrierung des verwendeten REM in Verbindung mit dem 4Q-BSE-Detektor erforderlich. Dafür empfehlen wir Kalibrierstrukturen und die zugehörige Kalibriersoftware microcal.
Diese Kalibrierstrukturen wurden speziell für die Anforderungen bei der 3D-Kalibrierung am REM entwickelt. Sie enthalten räumlich verteilte Referenzmarken und eine Kugelkalotte für die Kalibrierung der BSE-Detektoren. Durch den Vergleich der am REM gemessenen Referenzmarken mit den Soll-Koordinaten der Kalibrierstruktur werden die Maßstäbe in allen drei Raumrichtungen ermittelt und für die Korrektur der 3D-Oberflächenmodelle verwendet.
[Die Kalibrierstrukturen und die Kalibriersoftware wurden von m2c entwickelt, eine Marke der point electronic GmbH.]
Basisfunktionen
- 3D- und Kartenansicht von Topographiedaten mit verschiedenen Optionen zur Darstellung und farbigen Ansichten
- Daten drehen, verschieben, zoomen und skalieren
- Messen und speichern Sie Höhen, 3D-Koordinaten, räumliche Abstände und Winkel
- Profile messen und anzeigen, Profildaten als PDF-Bericht, ASCII, CSV oder Bilddaten speichern
- 3D-Datenverarbeitung (Daten drehen, Auflösung ändern, ROIs extrahieren, Histogramm berechnen)
- Berechnen Sie Differenz, Summe und Mittelwert topografischer Daten
- Oberflächenparameter berechnen (sphärische und polynomiale Näherung)
- Textur hinzufügen (z. B. aus SE-Bild oder EDS-Mapping)
- Anwenden einer 3D-Datenkorrektur (Skalierungs- und Scherfaktoren für laterale und Höhenkorrektur)
- Speichern Sie gerenderte 3D-Ansichten, Karten und ROIs
- Topographiedaten zur weiteren Verarbeitung oder Analyse exportieren (ASCII, BCR, Al3D, Surfer DAT, 8/16-Bit-TIFF)
- Topografie für 3D-Druck exportieren (PLY-Format)
- Textur exportieren (ASCII, TIFF, JPG, PNG, BMP)
- Import von Topographiedaten (ASCII, 8/16-Bit-TIFF)
3D-Rekonstruktions-Plugin
- 3D-Rekonstruktion von Topographiedaten aus vier Bildern eines segmentierten BSE-Detektors (mit Shape-from-Shading)
- Berechnen Sie topographieunabhängige Rückstreuwerte und -verläufe und zeigen Sie sie als Textur an
- Wenden Sie geometrische Scankorrekturen an
- Anwenden einer lateralen und Höhenskalenkorrektur (setzt 3D-Kalibrierung voraus)
- Frei konfigurierbare Detektorgeometrie (WD-Korrektur für unterschiedliche Höhen, Radialabstand, Einbauwinkel)
- Import gängiger SEM-Bilddateiformate
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Screenshots
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