HT BSE Detektor
Elektrodenbasierte Detektoren sind speziell für In-Situ Hochtemperaturexperimente konzipiert, bei denen herkömmliche Detektoren nicht eingesetzt werden können. Grund dafür ist, dass das von der heißen Probe emittierte Licht und die thermischen Elektronen die Elektronik leicht sättigen und die unvermeidbare Kontamination durch die In-situ-Bedingungen die Lebensdauer empfindlicher Sensoren begrenzt.
Bei diesem neuen Design werden BackScattered Electrons (BSE) in robusten Elektroden (Metallplatten) absorbiert, die auf der Detektionsebene platziert sind. Der resultierende absorbierte Strom wird in-situ einem Vorverstärker zugeführt und dann ex-situ verstärkt und weiter gemischt. Sekundäre und thermische Elektronen werden abgestoßen, da durch die galvanische Trennung des Detektors eine Vorspannung an die Elektroden angelegt wird. Licht, das entweder von der heißen Probe emittiert oder von einer Laserheizung gestreut wird, erzeugt bei dieser Technologie kein Signal, der Detektor ist lichtblind.
Die Elektroden können mit verschiedenen Materialien beschichtet werden, um die Absorptionseffizienz in bestimmten Energiebereichen zu optimieren, z. B. Carbon-Beschichtung für höhere Beschleunigungsspannungen. Sie können leicht demontiert, gereinigt und neu beschichtet werden.
Natürlich werden Vier-Quadranten-Elektroden verwendet, um in Kombination mit unserem kalibrierten SEM-Scan-Controller (DISS6) und der Topographie-Rekonstruktionssoftware eine 3D-Oberflächenanalyse zu ermöglichen.
4Q Electroden
- Vier Metallelektroden mit Carbonbeschichtung
- Jede Elektrode mit eigenem In-situ-Vorverstärker
- Einstellbare Bias-Spannung für alle
- Größe und Geometrie an das REM-Modell angepasst
Einfache Reinigung
- Die gesamte Detektor-Vorderseite kann leicht entfernt werden.
- Die Elektroden können bei Bedarf gereinigt und neu beschichtet werden.
- Schrauben ermöglichen eine einfache Demontage.
- Verschiedene Elektrodenbeschichtungen können neu aufgetragen werden.
Hochtemperatur
- Die Elektroden sind blind für das von den heißen Proben emittierte Licht
- Thermische Elektronen werden durch die Vorspannung des Detektors gefiltert.
- Maximaltemperatur nur durch Strahlungswärme begrenzt
- Kompatibel mit Laserheizung
Quantitative Messungen
- Elektronische Verstärkungen, Offsets und Bias sind werkseitig kalibriert.
- Die Verstärkung ist temperaturstabilisiert.
- Messung des in die Sensorelektroden gesammelten Stroms (wenn in Verbindung mit dem kalibrierten Scan-Controller für REM (DISS6) und der COMPO-Kalibrierstrukturen genutzt)
Oberflächenanalyse
- TOPO und COMPO werden in der Detektorhardware gemischt.
- 4Q-Signale sind für die topographische Rekonstruktion designed.
- Messung der Oberflächenhöhe/Topographie (wenn in Verbindung mit dem Scan-Controller für REM (DISS6) und der TOPO-Kalibrierungsprobe genutzt)
Quantitative BSE (qBSE)
- Bilden Sie die Dichte mit hoher räumlicher Auflösung ab
- Charakterisieren Sie die Verteilung von Phasen
- Zeigen Sie die Kristallographie mit Orientierungskontrast
BSE Topography
- Analysieren Sie von 3D-Oberflächen und komplexen Oberflächen
- Überwachen Sie in-situ-Reaktionen, auch bei hohen Temperaturen
- Charakterisieren Sie Fräsen und Zerspanung im FIB-SEM
