HT BSE Detektor
Abbildung und Messung von Oberflächen in-situ und bei hohen Temperaturen
Elektrodenbasierte Detektoren sind speziell für In-Situ Hochtemperaturexperimente konzipiert, bei denen herkömmliche Detektoren nicht eingesetzt werden können. Grund dafür ist, dass das von der heißen Probe emittierte Licht und die thermischen Elektronen die Elektronik leicht sättigen und die unvermeidbare Kontamination durch die In-situ-Bedingungen die Lebensdauer empfindlicher Sensoren begrenzt.
Bei diesem neuen Design des HT BSE Detektors von point electronic werden BackScattered Electrons (BSE) in robusten Elektroden (Metallplatten) absorbiert, die auf der Detektionsebene platziert sind.
- Der resultierende absorbierte Strom wird in-situ einem Vorverstärker zugeführt und dann ex-situ verstärkt und weiter gemischt.
- Sekundäre und thermische Elektronen werden abgestoßen, da durch die galvanische Trennung des Detektors eine Vorspannung an die Elektroden angelegt wird.
- Licht, das entweder von der heißen Probe emittiert oder von einer Laserheizung gestreut wird, erzeugt bei dieser Technologie kein Signal, der Detektor ist lichtblind.
Die Elektroden können mit verschiedenen Materialien beschichtet werden, um die Absorptionseffizienz in bestimmten Energiebereichen zu optimieren, z. B. Carbon-Beschichtung für höhere Beschleunigungsspannungen. Sie können leicht demontiert, gereinigt und neu beschichtet werden.
Natürlich werden Vier-Quadranten-Elektroden verwendet, um in Kombination mit unserem kalibrierten SEM-Scan-Controller (DISS6) und der Topographie-Rekonstruktionssoftware eine 3D-Oberflächenanalyse zu ermöglichen.
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1. Robuster Hochtemperatur-Sensor: Neue Technologie mit lichtunempfindlichen Metallelektroden in Quadrantengeometrie mit integrierten 4-fach-Vorverstärkern und einstellbarer Vorspannung
2. XY-Ausrichtung: Hochpräzise laterale Ausrichtung mit optionaler motorisierter Neupositionierung
3. Integriertes motorisiertes Einfahren: Port-mounted und mit Balgdichtung, mit motorisiertem Ein- und Ausfahren sowie Berührungsalarm
4. Standardschnittstellen: Steuerung über USB 2.0 und Ausgabe analoger Videosignale über RJ45-Anschlüsse
5. Integrierter Verstärker und Mixer: Zweistufige Verstärkung für jeden der vier Kanäle mit unabhängigen und kalibrierten Reglern für Helligkeit und Kontrast
Steuerung mit uneingeschränktem Zugriff auf alle Detektorparameter
Auf Leistung ausgelegt
Entwickelt für eine schnelle und intuitive Steuerung, um alle fortgeschrittenen Funktionen zur Signalsteuerung und Automatisierung abzudecken und selbst bei anspruchsvollen BSE-Experimenten ein optimales Erlebnis zu bieten.
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Vielseitige Experimente
Segmentierte Sensoren in Quadrantengeometrien
Jedes Segment verfügt über eigene Helligkeits- und Kontrastregler
Größe und Geometrie optimiert für die Materialwissenschaft -
Flexibler Output
Geben Sie alle vier einzelnen Kanäle gleichzeitig aus
Kombinieren Sie alle Signale zu einem einzigen Ausgang mit integriertem kompositorischem oder topografischem Mix
Leiten Sie einen beliebigen Kanal auf einen einzigen Ausgang
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Intuitiv, schnell und ergonomisch
Robustes Bedienfeld für schnellen Zugriff und einfache Einstellungen
Touchdisplay zur Statusanzeige und automatischen Steuerung
Drehregler für eine sehr feine manuelle Steuerung
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Quantitative Messungen
Elektronische Verstärkungen, Offsets und Vorspannungen sind werkseitig kalibriert
Der in den Sensor fließende Elektronenstrom lässt sich aus der Spannung am Ausgang des Detektors berechnen
Die Materialeigenschaften lassen sich aus dem quantifizierten Eingangssignal bestimmen
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Software Development toolKit (SDK)
Steuerungsbibliotheken für Positionierung und Verstärkung
Anwendungsprogrammierschnittstellen mit vereinfachten Funktionen und physikalischen Parametern
Beispielcode in Python und anderen Programmiersprachen
Fernsupport für Entwickler nach dem Kauf
Einzigartiger, robuster und lichtunempfindlicher Detektor für In-situ-/In-operando-Rasterelektronenmikroskopie
In-situ Heizen
Bilden Sie heiße Oberflächen ohne Störung durch emittiertes Licht ab
Filtern Sie niedrigenergetische thermische Elektronen mithilfe der integrierten Detektor-Vorspannung heraus
Kombinieren Sie den Detektor mit elektrischen oder Laser-Heizelementen
Wasserkühlung
Überwachen Sie die Betriebstemperatur mit dem integrierten Temperatursensor.
Schützen Sie Ihren Detektor mit der optionalen Wasserkühlung - selbst bei 1.200 °C.
Schließen Sie das Gerät in Reihe an die vorhandenen Wasserkühlschläuche der Heizung an.
Robust und leicht zu reinigen
Erweitern Sie Ihre Experimente mit einem Detektor, der speziell für den Einsatz unter kontaminierten Bedingungen ausgelegt ist
Verlassen Sie sich auf die sichere Handhabung - sowohl im Mikroskop als auch außerhalb
Wechseln, reinigen und modifizieren Sie Ihre Elektrodensensoren, ohne sie an den Hersteller zurücksenden zu müssen
Quantitative BSE
- Bilden Sie die Dichte mit hoher räumlicher Auflösung ab
- Charakterisieren Sie die Verteilung von Phasen
- Zeigen Sie die Kristallographie mit Orientierungskontrast
BSE Topografie
- Analysieren Sie 3D-Oberflächen und komplexe Oberflächen
- Überwachen Sie in-situ-Reaktionen, auch bei hohen Temperaturen
- Charakterisieren Sie Fräsen und Zerspanung im FIB-SEM
High-Temperature BSE Frontend
Sensor
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Metallelektroden
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Vier-Quadranten-Geometrie (4Q)
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5 mm Innendurchmesser
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28 mm Außendurchmesser
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Vorspannung von -20 bis 20 V
Vorverstärker
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4x In-situ-Montage
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Galvanische Trennung
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5 × 10⁷ V/A Verstärkung
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Minimum-Verweildauer 5 µs (verstärkungsabhängig)
Elektronik-Backend
Hauptverstärker
- 4 unabhängige Signalkanäle
- Eingangs-Offset: -1,25 … 1,25 V (-50 … 50 mV mit Dämpfungsglied)
- Verstärkung: 1× … 1.800×
- Ausgangs-Offset: -1,25 … 1,25 V
- Tiefpassfilter: 3,4 MHz … 34 Hz
- Automatische globale 4Q Helligkeits- und Kontrastanpassung
- Automatische Eingangs-Offsets (Dunkelkorrektur)
- Automatische Verstärkungsnormalisierung (Hellkorrektur)
- COMPO-Hardware-Mischsignal (Mittelwert aus BSE1…BSE4)
- TOPO-Hardware-Mischsignal (Mischung aus BSE1…BSE4)
Schnittstellen
- 1× USB 2.0 zur Verstärkersteuerung
- 1× USB 2.0 zur Bewegungssteuerung
- 1× RJ45-Signalausgänge
Signalausgänge
- Typ. 4× -0,5…0,5 V Ausgangsbereich
Insertion/retraction Mechanik
- Port-montiert, mit Vakuumbalg
- Motorisierte Ein- und Ausfahrbewegung
- -4...4 mm seitliche und höhenmäßige Ausrichtung
- 10 µm Schrittweite bei der Neupositionierung
- Berührungsalarm mit automatischem Stopp und Rückzug
Display Panel
- Automatische Helligkeit und Kontrast, automatischer Kontrast, automatische Nullstellung
- Display 480 x 800 px (4,3“)
- Resistiver Touchscreen
- 4 Drehgeber
- 360 Schritte pro Umdrehung
- Signalton und Vibrationsmotor für haptisches und akustisches Feedback
- Robustes Metallgehäuse für Stabilität
- USB-Schnittstelle für Steuerung und Stromversorgung
Detector Control Software
Steuerung
- Detektor-Schematrik mit wählbaren Quadranten
- Einstellungen für Vorspannung, Helligkeit und Kontrast
- Einzelne Quadranten oder gruppierte Steuerung
- Automatische Ein- und Ausfahrpositionen
- Präzise Neupositionierung/Anpassungen in mm
In-situ-Automatisierung
- JSON/RPC-Schnittstelle für die Fernsteuerung
- Automatische Helligkeits- und Kontrasteinstellung
Betriebssystem
- Windows 11 … Windows 7