HT BSE Detektor
Abbildung und Messung von Oberflächen in-situ und bei hohen Temperaturen
Elektrodenbasierte Detektoren sind speziell für In-Situ Hochtemperaturexperimente konzipiert, bei denen herkömmliche Detektoren nicht eingesetzt werden können. Grund dafür ist, dass das von der heißen Probe emittierte Licht und die thermischen Elektronen die Elektronik leicht sättigen und die unvermeidbare Kontamination durch die In-situ-Bedingungen die Lebensdauer empfindlicher Sensoren begrenzt.
Bei diesem neuen Design des HT BSE Detektors von point electronic werden BackScattered Electrons (BSE) in robusten Elektroden (Metallplatten) absorbiert, die auf der Detektionsebene platziert sind. Der resultierende absorbierte Strom wird in-situ einem Vorverstärker zugeführt und dann ex-situ verstärkt und weiter gemischt. Sekundäre und thermische Elektronen werden abgestoßen, da durch die galvanische Trennung des Detektors eine Vorspannung an die Elektroden angelegt wird. Licht, das entweder von der heißen Probe emittiert oder von einer Laserheizung gestreut wird, erzeugt bei dieser Technologie kein Signal, der Detektor ist lichtblind.
Die Elektroden können mit verschiedenen Materialien beschichtet werden, um die Absorptionseffizienz in bestimmten Energiebereichen zu optimieren, z. B. Carbon-Beschichtung für höhere Beschleunigungsspannungen. Sie können leicht demontiert, gereinigt und neu beschichtet werden.
Natürlich werden Vier-Quadranten-Elektroden verwendet, um in Kombination mit unserem kalibrierten SEM-Scan-Controller (DISS6) und der Topographie-Rekonstruktionssoftware eine 3D-Oberflächenanalyse zu ermöglichen.
4Q Electroden
- Vier Metallelektroden mit Carbonbeschichtung
- Jede Elektrode mit eigenem In-situ-Vorverstärker
- Einstellbare Bias-Spannung für alle
- Größe und Geometrie an das REM-Modell angepasst
Einfache Reinigung
- Die gesamte Detektor-Vorderseite kann leicht entfernt werden.
- Die Elektroden können bei Bedarf gereinigt und neu beschichtet werden.
- Schrauben ermöglichen eine einfache Demontage.
- Verschiedene Elektrodenbeschichtungen können neu aufgetragen werden.
Hochtemperatur
- Die Elektroden sind blind für das von den heißen Proben emittierte Licht
- Thermische Elektronen werden durch die Vorspannung des Detektors gefiltert.
- Maximaltemperatur nur durch Strahlungswärme begrenzt
- Kompatibel mit Laserheizung
Quantitative Messungen
- Elektronische Verstärkungen, Offsets und Bias sind werkseitig kalibriert.
- Die Verstärkung ist temperaturstabilisiert.
- Messung des in die Sensorelektroden gesammelten Stroms (wenn in Verbindung mit dem kalibrierten Scan-Controller für REM (DISS6) und der COMPO-Kalibrierstrukturen genutzt)
Oberflächenanalyse
- TOPO und COMPO werden in der Detektorhardware gemischt.
- 4Q-Signale sind für die topographische Rekonstruktion designed.
- Messung der Oberflächenhöhe/Topographie (wenn in Verbindung mit dem Scan-Controller für REM (DISS6) und der TOPO-Kalibrierungsprobe genutzt)
> zu den Spezifikationen blättern

Quantitative BSE
- Bilden Sie die Dichte mit hoher räumlicher Auflösung ab
- Charakterisieren Sie die Verteilung von Phasen
- Zeigen Sie die Kristallographie mit Orientierungskontrast

BSE Topografie
- Analysieren Sie 3D-Oberflächen und komplexe Oberflächen
- Überwachen Sie in-situ-Reaktionen, auch bei hohen Temperaturen
- Charakterisieren Sie Fräsen und Zerspanung im FIB-SEM
Sensoren
- 4x Quadrantenelektroden Kohlenstoffbeschichtet
- typ. 5 mm Innendurchmesser typ. 25 mm Außendurchmesser
- -10...10 V Vorspannung
Vorverstärker
- 4x in-situ montiert
- Galvanische Trennung
- 5x107 V/A
- 50 kHz Bandbreite
Haupt-Verstärker (MICS4)
- 4x unabhängige Signalkanäle
- -1,25 ... 1,25 V (-50...50 mV mit Dämpfungsglied) Eingangsoffset
- 1x ... 1.800x Verstärkung
- -1,25 ... 1,25 V Ausgangsoffset
- 3,4 MHz...34 Hz Tiefpassfilter
- Automatisierte globale 4Q-Helligkeit und Kontrast
- Automatisierte Eingangsoffsets (Dunkelkorrektur)
- Automatisierte Verstärkungsnormalisierung (Helligkeitskorrektur)
- COMPO-Hardware-Mischsignal (Summe von BSE1...BSE4)
- TOPO Hardware-Mischsignal (Mischung von BSE1...BSE4)
Mechaniken (LIMA)
- Port montiert, mit Vakuumbalg
- Motorisierte Einführungs-/Rückzugsbewegung
- -4...4 mm manuelle Seiten- und Höhenausrichtung
- 10 µm Repositionierungsschrittgröße
- Integrierter Touch-Alarm, mit automatischem Stopp und Rückzug
- Passive Kühlung
Interfaces
- 1x USB 2.0 für die Verstärkersteuerung
- 1x USB 2.0 für die Bewegungssteuerung
- 1x RJ45 Signalausgänge
Signalausgänge
- Unabhängig BSE1...BSE4
- COMPO (Summe von BSE1...BSE4)
- TOPO (Mischung aus BSE1...BSE4)
Software - Steuerung
- Detektorzeichnung mit wählbaren Quadranten
- Regler für Vorspannung, Helligkeit und Kontrast
- Einzelne Quadranten oder gruppierte COMPO/TOPO-Steuerung
- Automatisches Anwählen eingefahrener/ausgefahrenen Positionen
- Feinpositionierung/Einstellungen in mm-Einheiten
- Windows 11 … Windows 7
Software - In-situ Automation
- Öffnen/Speichern von Einstellungen im XML-Dateiformat
- JSON/RPC-Schnittstelle für die Fernsteuerung
- Automatisierte Helligkeit und Kontrast