EFA Controller

Modernste Elektronik für die elektrische Fehleranalyse (EFA) im REM, einschließlich Routing, Verstärkung, Vorspannung und Kompensation. Der Controller ist für den Einsatz mit Nanoprobing-Systemen konzipiert und kann optional mit In-situ-Elektronik, Stromversorgung für die Probenreinigung und automatischen Strom-Spannungs-Sweeps ausgestattet werden.

Standard-Features

• Automatisches Routing, zur internen Verstärkung, Vorspannung oder Cleaning oder zur externen Charakterisierung
• Schneller und rauscharmer Transimpedanz-Vorverstärker mit einstellbarer Verstärkung
• Tiefpassfilter zur Anpassung der Verstärkung an die Abbildungsgeschwindigkeit
• Verstärker der zweiten Stufe für feine Bildeinstellungen
• Spannungsquelle für die Gerätevorspannung
• Stromquelle zur Kompensation von Vorwärts- oder Rückwärtssignalen
• Auto-Zero-Funktion zur Kalibrierung

Optionale Merkmale

• In-situ-Elektronik für Fehlerfälle mit niedriger Impedanz
• strombegrenzte Spannungsversorgung für die Probenreinigung
• automatische Strom-Spannungs-Sweeps zur Gerätecharakterisierung

Der Controller ist für eine breite Palette von elektrischen Analysetechniken (EA) ausgelegt.

Messung Elektronenstrahl­induzierter Ströme (EBIC)

• Bilden Sie innere elektrischer Felder in Halbleitern und Keramiken ab
• Charakterisieren Sie die elektrische Aktivität von Defekten
• Lokalisieren Sie von Material- und/oder Verarbeitungsfehler

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Resistenz Contrast Imaging (EBAC/RCI)

• Lokalisieren Sie Unterbrechungen und Kurzschlüsse in Zwischenverbindungen
• Identifizieren Sie Schwachstellen in Oxidschichten
• Bilden Sie Widerstand mit hoher räumlicher Auflösung ab

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Electron Beam Induced Current Change (EBIRCh)

• Lokalisieren Sie Defekte in Transistoren mit hoher räumlicher Auflösung
• finden Sie punktgenau Leckagen/Schwächen in Oxyden
• ähnlich mit Optical Beam Induced Resistance Change (OBIRCh)

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