EFA Controller
Modernste Elektronik für die elektrische Fehleranalyse (EFA) im REM, einschließlich Routing, Verstärkung, Vorspannung und Kompensation. Der Controller ist für den Einsatz mit Nanoprobing-Systemen konzipiert und kann optional mit In-situ-Elektronik, Stromversorgung für die Probenreinigung und automatischen Strom-Spannungs-Sweeps ausgestattet werden.
Standard-Features
- Automatisches Routing, zur internen Verstärkung, Vorspannung oder Cleaning oder zur externen Charakterisierung
- Schneller und rauscharmer Transimpedanz-Vorverstärker mit einstellbarer Verstärkung
- Tiefpassfilter zur Anpassung der Verstärkung an die Abbildungsgeschwindigkeit
- Verstärker der zweiten Stufe für feine Bildeinstellungen
- Spannungsquelle für die Gerätevorspannung
- Stromquelle zur Kompensation von Vorwärts- oder Rückwärtssignalen
- Auto-Zero-Funktion zur Kalibrierung
Optionale Merkmale
- In-situ-Elektronik für Fehlerfälle mit niedriger Impedanz
- strombegrenzte Spannungsversorgung für die Probenreinigung
- automatische Strom-Spannungs-Sweeps zur Gerätecharakterisierung
Der Controller ist für eine breite Palette von elektrischen Analysetechniken (EA) ausgelegt.
Messung Elektronenstrahlinduzierter Ströme (EBIC)
- Bilden Sie innere elektrischer Felder in Halbleitern und Keramiken ab
- Charakterisieren Sie die elektrische Aktivität von Defekten
- Lokalisieren Sie von Material- und/oder Verarbeitungsfehler
Resistenz Contrast Imaging (EBAC/RCI)
- Lokalisieren Sie Unterbrechungen und Kurzschlüsse in Zwischenverbindungen
- Identifizieren Sie Schwachstellen in Oxidschichten
- Bilden Sie Widerstand mit hoher räumlicher Auflösung ab
Electron Beam Induced Current Change (EBIRCh)
- Lokalisieren Sie Defekte in Transistoren mit hoher räumlicher Auflösung
- finden Sie punktgenau Leckagen/Schwächen in Oxyden
- ähnlich mit Optical Beam Induced Resistance Change (OBIRCh)
