EFA Controller

Modernste Elektronik für die elektrische Fehleranalyse (EFA) im REM, einschließlich Routing, Verstärkung, Vorspannung und Kompensation. Der Controller ist für den Einsatz mit Nanoprobing-Systemen konzipiert und kann optional mit In-situ-Elektronik, Stromversorgung für die Probenreinigung und automatischen Strom-Spannungs-Sweeps ausgestattet werden.

Standard-Features

  • Automatisches Routing, zur internen Verstärkung, Vorspannung oder Cleaning oder zur externen Charakterisierung
  • Schneller und rauscharmer Transimpedanz-Vorverstärker mit einstellbarer Verstärkung
  • Tiefpassfilter zur Anpassung der Verstärkung an die Abbildungsgeschwindigkeit
  • Verstärker der zweiten Stufe für feine Bildeinstellungen
  • Spannungsquelle für die Gerätevorspannung
  • Stromquelle zur Kompensation von Vorwärts- oder Rückwärtssignalen
  • Auto-Zero-Funktion zur Kalibrierung

Optionale Merkmale

  • In-situ-Elektronik für Fehlerfälle mit niedriger Impedanz
  • strombegrenzte Spannungsversorgung für die Probenreinigung
  • automatische Strom-Spannungs-Sweeps zur Gerätecharakterisierung

Der Controller ist für eine breite Palette von elektrischen Analysetechniken (EA) ausgelegt.