EA / EFA Referenznormale

Referenzmuster für Schulungen zu elektronenstrahlinduziertem Strom (EBIC) und Widerstandskontrastbildgebungstechniken (RCI) sowie für die Installation der elektrischen Analyse (EA) in REM- und elektrischen Fehleranalysesystemen (EFA). Verpackte Geräte werden verwendet, um sicherzustellen, dass sich die Leistung über lange Lagerzeiträume nicht ändert, und die Geräte werden auf Platinen montiert, um sie elektrisch von SEM- oder FIB-SEM-Stufenverbindungen zu isolieren. Der Faraday-Becher ist im Lieferumfang enthalten und ermöglicht die Schulung vollständiger quantitativer Arbeitsabläufe.

Merkmale

• Verpackter Dioden- oder Widerstandssatz
• Zur einfachen Handhabung oberflächenmontiert auf einer Keramikplatte
• Integrierter Faradaybecher für Strahlstrommessungen

Vorteile

• Einfache Beispiele für Training, EBIC und RCI
• Benchmarks für die Systemleistung
• Robuste Beispiele für neue Benutzer