Topographische Analyse
Topographische Analyse - erweitern Sie Ihr SEM um die dritte Dimension
Das point electronic BSE-Topographiesystem ist die einzige Lösung, die eine quantitative und kalibrierte Live-Messung der Oberflächenhöhen mit Live-3D-Visualisierung in der Rasterelektronenmikroskopie ermöglicht.
Es hilft Forschern, Unterschiede in Höhe und Morphologie zu unterscheiden. Diese Technik ist von unschätzbarem Wert für die Charakterisierung von Probenoberflächen in SEM- und FIB-SEM-Umgebungen.
Das System ist für Umgebungen mit mehreren Anbietern konzipiert und lässt sich nahtlos mit Standard-Topographiesoftware verbinden, einschließlich Offline-Analyse und 3D-Druck-Dateiformaten.
Als komplettes Detektor- und Scan-Controller-System kann die BSE-Topografie-Lösung in jedes Mikroskop mit einem geeigneten BSE-Anschluss nachgerüstet werden.
Das System besteht aus Hardware und Software.
Live- und kalibrierte Höhenmessungen
Die BSE-Topografie-Steuerungssoftware umfasst die Live-Rekonstruktion der Oberflächenhöhe aus BSE-Signalen, ein integriertes 3D-Oberflächenvisualisierungstool und konfigurierbare Arbeitsabläufe mit integrierten SE- und BSE-Scanprofilen.
Anpassbarer Workflow: Vollständig konfigurierbare Scanprofile, einschließlich Live-Scan oder hochauflösender Erfassung
Projekteinrichtung: Projektparameter für Speichern und automatisches Speichern, Routine-Workflows und Fernsteuerung
Detektorsteuerung: Helligkeit und Kontrast mit automatischer Signalanpassung, Detektoreinführung und -rückzug
Automatische Kalibrierung: Automatische Bestimmung und Korrektur von Lateral- und Höhenskalen mit 3D-Kalibrierungsprobe
Automatisierte 3D-Zeitreihen: Automatisierte Erfassung von Zeitreihen für die 3D-In-situ-Mikroskopie, einschließlich Live-Höhe
Live-2D-Ansicht der Höhe: An jedem Punkt der Probe wird die Höhe aus den vier simultanen BSE-Signalen bestimmt, die von den vier Quadranten des Detektors geliefert werden
Live-3D-Ansicht mit Textur: 3D-Visualisierung der gemessenen Topografie unter Verwendung von höhenkodierten Farben oder rohen SEM-Signalen als Textur

Komplettlösung für quantitative BSE für jedes SEM oder FIB-SEM
Als komplettes Detektor- und Scan-Controller-System kann die point electronic BSE-Topografie-Lösung in jedes Mikroskop mit einem geeigneten BSE-Anschluss nachgerüstet werden.

3D Kalibrier-Standard
Raumkalibrierungsmuster mit Referenzmarken für die automatische geometrische Kalibrierung, gewährleistet eine korrekte Höhenskala.

BSE Detektor
4-Quadranten-Segment-BSE-Detektor mit kalibriertem Verstärker, einschließlich automatischer Signalanpassung und Ein-/Ausfahrmechanismus

DISS6 Scan Controller
Kalibriertes Mehrkanal-Bildgebungssystem zur gleichzeitigen Erfassung von BSE- und SEM-Signalen

DISS6 Software mit Topografie-Plugin, und microShape Software
Rekonstruktion und Live-Visualisierung quantitativer Oberflächenkarten und SEM-Signale mit integrierter 3D-Kalibrierung

3D Kalibrierstrukturen
- 3D Struktur für die Geometriekalibrierung in X, Y, Z
- Referenzinformation PTB rückgeführt
- Mit Referenzmarken für automatische 3D Kalibrierung

Premium BSE-Detektor
- Schneller und hochsensitiver 4-Quadranten Si Sensor, für BSE-Signal optimiert
- In-situ Vorverstärker für optimale Effizienz und Geschwindigkeit
- Low-kV Sensoren

DISS6 REM Scan Controller
- Bildaufnahme mit kalibrierter Hochleistungselektronik
- Integrierte kalibrierte Signalverstärkung mit Automatikfunktionen
- Simultane Aufnahme aller BSE-Signale

DISS6 Bildaufnahme mit Topografie-Plugin
- Ermittlung und Visualisierung der Probentopografie aus BSE-Daten in Echtzeit
- Quantitative Bildaufnahme und Detektorsteuerung
- Speichern der Topografie- und Bilddaten in Standard-Dateiformate

microShape
- Software für die Visualisierung und Analyse von Topografiedaten
- Messung von Profillinien, Höhen, Abständen und Winkeln in 3D
- 3D Datenprozessierung mit Datenkorrektur und -überlagerung

microCal
- Software für die 3D Kalibrierung mit Reportfunktion
- Automatische Bestimmung der Maßstäbe und Scherungen in allen Raumrichtungen
- Statistische Auswertung und Analyse von nichtlinearen Geometrieabweichungen

microDIP Bildbearbeitung
- Software zur Anzeige quantitativer Bilddaten
- Überprüfung von Akquisitionsregelungen in Metadaten
- Extraktion quantitativer Pixelwerte