Komplettes System für jedes REM
- 3D-Kalibriernormal
- Rückstreudetektor
- Mehrkanalvideoverstärker
- Bildaufnahmesystem mit Scangenerator
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Software für Echtzeitdarstellung
Automatisierte Kalibrierung mit M2C 3D-Kalibriernormal
- Messung und Korrektur des Maßstabs in allen drei Raumrichtungen
- Ermittlung der AchsenOrthogonalität (Scherung)
- Analyse nichtlinearer Geometrieabweichungen
Segmentierter Halbleiterdetektor für Rückstreuelektronen
- Bestehend aus Einzelsensoren oder auf einem Chip
- Optionaler Detektor für Hochtemperatur Anwendungen
- Insitu Vorverstärker für höchste Geschwindigkeit bei geringstem Rauschen
Manuell rückziehbare Detektorhalterung (optional)
- Manuelle Ausrichtung in XYZ im Vakuum
- Komplett rückziehbar, wenn nicht benötigt
- Kompatibel mit allen gängigen REM und FIB-REM
Mehrkanaliger Signalverstärker für simultane Datenerfassung
- 4 kalibrierte Kanäle für simultane Erfassung der Rückstreusignale
- Einstellung von Helligkeit und Kontrast für jeden Kanal unabhängig
- Ansteuerung über USB, vollständig in das Bildaufnahmesystem integriert
Vielseitig einsetzbares REM Scansystem
- Integrierter Scangenerator und Bildaufnahme
- Bildauflösung bis zu 16k x 16k Pixels
- Schnelle Scangeschwindigkeit: minimal 200ns Dwelltime
- 4 simultane Analog und 12x Digitaleingänge
Komplett in REM-Steuerung und Bildaufnahme integriert
- Topografierekonstruktion aus 4 simultanen BSE Kanälen in Echtzeit
- Topografiedarstellung in 3D in Steuersoftware integriert
- Verwendung von Workflows mit konfigurierbaren Scan Profilen
Quantitative Höhendaten aus rekonstruiertem Höhenmodell
- Berechnung der Oberflächennormalen aus BSE Daten an jeder Strahlposition
- Ermittlung der Oberflächentopografie aus allen Oberflächennormalen
- Höhenauflösung hauptsächlich vom Interaktionsvolumen zwischen Strahl und Probe abhängig
3D Visualisierung in Echtzeit
- Verschieben, Drehen, Zoomen und zSkalierung der Darstellung mit Maus/Tastatur
- Optionen für Rendering und farbkodierte Darstellungen
- Export des Oberflächenmodells in Standardformate (Al3D, SDF)
