REM Topografie

REM Topografie

Quantitative Oberflächentopografie im REM in Echtzeit mit BSE-Detektor

Messung der Oberflächentopografie mit dem REM

  • Verwendung der Signale eines segmentierten Rückstreudetektors (BSE)
  • Darstellung in Echtzeit durch automatische Topografieberechnung
  • Speicherung der Topografiedaten in Standardformate für Höhenmodelle

Unterscheidung zwischen Probenzusammensetzung und Oberflächentopografie

  • Beseitigung von Unklarheiten bei der Bildinterpretation
  • Besseres Verständnis der Probenoberfläche durch Darstellung und Druck in 3D
  • Messung von Abständen, Flächen, Volumen in 3D, Messung von Rauheit und Texturmerkmalen

Überwachung von FIB-Ätzen und Deposition

  • Verbesserung der Probenpräparation für TEM und Atomsonde
  • Überprüfung der Dicke für FIB induzierte Schichten
  • Kontrolle von Tiefe und Rauheit beim Ionenstrahlätzen

Unkomplizierte Darstellung von komplexen Oberflächen

  • Überlagerung der Höhendaten mit SE/BSE Bilddaten oder EDS/EBSD Mappings
  • Verwendung unterschiedlicher Farbdarstellungen
  • Speicherung der aktuellen 3D Darstellung in Bilddatei

Kalibrierung und Höhenmessung

  • Kalibrierung der Messung mit zugehöriger 3D Kalibrierprobe
  • Messung von Einzelpositionen, Strecken und Winkeln in 3D
  • Profilmessungen und Dokumentation

Workflow für weiterführende Topografie-Analysesoftware

  • Höhendaten kompatibel mit Standard Analysesoftware
  • Nutzung weiterführender Software für Texturanalyse und Rauheitsmessungen
  • Analyse von Morphologie, Korngrößen und Partikeln