Modernisierung eines ZEISS LEO 1550 für das Institut für Halbleitertechnik der Universität Stuttgart (IHT): Unser Team installierte eine punktelektronische SEM-Modernisierung zusammen mit einem neuen Quantax Compact EDS-System von Bruker mit einem XFlash-Detektor. Die vorhandenen Detektoren und die Kammerkamera wurden nahtlos in das modernisierte SEM integriert.

Nach der offiziellen Ankündigung des Endes der Lebensdauer des Mikroskops wurde die Verfügbarkeit von Ersatzteilen und der Support durch den Hersteller zunehmend schwieriger. Auf der Suche nach einer Lösung entschieden sich Prof. Dr. Alwin Daus, Leiter des IHT, und Dr. Daniel Schwarz, als Reinraummanager verantwortlich für das SEM, für die Modernisierung.

Bei der SEM-Modernisierung wurde die alte Elektronik durch leistungsstarke Hardware und Software von point electronic ersetzt, wodurch die volle Funktionsfähigkeit wiederhergestellt wurde. Die Modernisierung wurde mit der Anschaffung eines neuen EDX-Systems kombiniert, das als Komplettpaket von der point electronic GmbH electronic als offizieller Partner der Bruker Corporation geliefert wurde.

Die Deinstallation, Installation und Schulung wurden innerhalb weniger Tage abgeschlossen. „Die Modernisierung verlief reibungslos“, sagt Dr. Schwarz und fügt hinzu, dass das SEM nun Bilder in hoher Qualität liefert.

Das SEM wird in erster Linie zur Analyse von Halbleiterbauelementen wie Dioden, Transistoren, Fotodetektoren und zweidimensionalen Materialien verwendet, die im Reinraum des Instituts hergestellt werden.

Wir danken Prof. Dr. Alwin Daus, Dr. Daniel Schwarz und dem gesamten IHT-Team und wünschen ihnen weiterhin viel Erfolg mit dem modernisierten REM.