Erfolgreiche Modernisierung eines ZEISS LEO1560 Elektronenmikroskops für NaMLab, eine Forschungseinrichtung und hundertprozentige Tochtergesellschaft sowie angegliedertes Institut der Technischen Universität Dresden.

NaMLab konzentriert sich auf die Integration und Anwendung seines Material-Know-hows in ferroelektrischen Bauelementen, rekonfigurierbaren Nanodrahttransistoren und energieeffizienten GaN-Bauelementen.

„Wir haben uns für eine Modernisierung entschieden, um unserem REM ein zweites Leben zu geben, da seine Leistung immer noch sehr gut war, aber der Ersatzteil-Support des Herstellers eingestellt wurde. Nachhaltigkeit und Kosteneffizienz waren ausschlaggebende Faktoren für unsere Entscheidung“, sagt Jan Gärtner, verantwortlich für den Bereich Reinraum und Prozess bei NaMLab.

Unser point electronic Team installierte die REM-Modernisierungund ein point electronic Topographiesystem mit BSE-Detektor und 3D-Kalibrierstruktur. Das Topographiesystem ermöglicht die quantitative und kalibrierte Live-Messung der Oberflächenhöhe mit Live-3D-Visualisierung.

„Wir verwenden das SEM, um hergestellte Schichten, lithografische Muster und komplette Geräte zu visualisieren, Elementanalysen und Phasenanalysen durchzuführen.

Der Modernisierungsprozess selbst verlief reibungslos und wurde vom Team von point electronic, insbesondere dank des großen Einsatzes von Herrn Graul und Herrn Reeske, perfekt organisiert.“

Wir danken dem NaMLab-Team und wünschen ihm viel Erfolg bei der wissenschaftlichen Forschung und Entdeckung mit dem modernisierten REM.