Modernisierung eines LEO 1560 für das Institut für Mikroelektronik Stuttgart IMS
Fragen an Bernd Leibold, Institut für Mikroelektronik Stuttgart IMS
Können Sie uns etwas über Ihre Einrichtung erzählen?
Am Institut für Mikroelektronik Stuttgart IMS forschen und produzieren wir für innovative Anwendungen der Mikroelektronik und Nanotechnologie. Als Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg stehen wir für Technologietransfer in die Wirtschaft. Wir verbinden universitäre Forschung und industrielle Anwendung mit zuverlässiger Kleinserienproduktion.
Was waren Ihre Gründe für eine Modernisierung?
Das LEO 1560 steht bei uns seit Ende 2001 und hat bisher sehr gute Dienste geleistet. Wir erhielten Anfang 2023 vom Hersteller die Mitteilung, dass das Gerät auf 1.Oktober 2023 abgekündigt wird. Da das LEO 1560 für uns ein Arbeitspferd ist, wurde eine Möglichkeit gesucht das Gerät, ohne Risiko eines Totalausfalls, noch länger zuverlässig betreiben zu können. Durch die Modernisierung (Austausch von Hard- und Software) durch point electronic konnte dies erreicht werden.
Welche Anwendungen nutzen Sie mit dem modernisierten Mikroskop?
Wir analysieren hauptsächlich Proben aus der Halbleiterfertigung. Dies sind meistens Waferbruchstücke mit Silizium als Grundmaterial mit unterschiedlichsten Strukturen. Der Anwendungsbereich wird sich durch die Modernisierung nicht ändern.
Haben Sie bereits Erfahrungen mit point electronic Systemen oder Dienstleistungen?
point electronic hat uns beim Ausfall des Hochspannungsnetzteils des REMs geholfen. Das Teil war beim Hersteller bereits nicht mehr verfügbar und point electronic konnte uns mit einem HV-Netzteil aus ihrem Lagerbestand versorgen. Zuerst auf Leihbasis zum Testen. Nach erfolgreichem Test wurde das Netzteil gekauft.
Wie empfinden Sie die Arbeit mit dem von point electronic modernisierten Mikroskop?
Es fällt anfangs etwas schwer sich an die point electronic Software zu gewöhnen, wenn man bereits mehrere Jahre mit der Herstellersoftware gearbeitet hat. Aber nach einiger Zeit kommt man damit klar. Es gibt neue Features, die sehr nützlich sind.
Welche Erfahrungen haben Sie mit der Installation der Modernisierung durch point electronic gemacht?
Die Modernisierung wurde gewissenhaft und zügig unter Reinraumbedingungen durchgeführt. Allerdings fehlte am Ende noch etwas Zeit für das Kennenlernen der Software. Dies wurde aber durch mehrere Team-Viewer-Sitzungen nachgeholt.
Über Bernd Leibold, Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Bernd Leibold ist als Chemie / Prozess Ingenieur und Wissenschaftlicher Mitarbeiter für das Gebiet Ätzprozesse am IMS Stuttgart tätig.