Development of chopped scan mode with lock-in amplification for electrical analysis of devices

Dienstag, 2. September 2025
14:00 (Europe/Berlin)
poster session 9 -  poster ID  IMP3.P22

Unser Poster auf der MC2025 in Karlsruhe präsentiert eine neuartige Technik zur Verbesserung der Elektrischen Analyse (EA) von integrierten Schaltkreisen (ICs) mittels Elektronenmikroskopie, bei der herkömmliche Methoden aufgrund von Rauschen und Strahlbeschränkungen Schwierigkeiten haben, extrem niedrige Ströme im pA-Bereich zu messen. Es wird eine Lock-in-Verstärkungsstrategie vorgestellt, bei der der Elektronenstrahl mithilfe vorhandener Scan-Spulen - anstelle spezieller Strahlunterdrücker - moduliert wird, um ein sauberes, rauschreduziertes Signal zu erzeugen. Dieser Ansatz reduziert das Niederfrequenzrauschen bei der resistiven Kontrastbildgebung (RCI) erheblich, insbesondere bei niederohmigen Bauelementen, und ermöglicht so ein schnelleres und zuverlässigeres Mapping.

Unser Kontakt: info@pointelectronic.de

Dienstag – Poster Session 9 - Poster-ID IMP3.P22

Dr. Grigore Moldovan
CTO

Towards Cinematic STEM: Fast frame rates with scan shaping

Montag, 1. September 2025
14:00 (Europe/Berlin)
Poster-Session 2 – Poster-ID IMP1.P15

Das Poster von Lewys Jones vom Trinity College Dublin stellt auf der MC2025 in Karlsruhe eine neue Scan-Strategie für die Rastertransmissionselektronenmikroskopie (STEM) vor, die darauf abzielt, deutlich höhere Bildgebungsgeschwindigkeiten zu erreichen – bis zu 50 fps mit ~50 ns pro Pixel bei vollständig abgetasteten Bildern – auf bestehenden Systemen. Herkömmliche Scanmethoden stießen aufgrund von Flyback-Verzerrungen und Hardware-Einschränkungen an ihre Grenzen, aber das vorgeschlagene Serpentinen-Scanmuster und die Overdrive-Korrektur mildern diese Probleme, indem sie die Strahlbewegung glätten und Nichtlinearitäten korrigieren. Dieser Ansatz ermöglicht eine schnellere, verzerrungskorrigierte Bildgebung ohne neue Hardware, wodurch die Hochgeschwindigkeits-STEM zugänglicher wird. Der Versuchsaufbau umfasste den point electronic DISS6 SEM-Scan-Controller.

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Montag – Poster-Session 2 – Poster-ID IMP1.P15

In situ and operando electron microscopy investigation of Pt surface dynamics under H₂ and O₂ environments

Mittwoch, 3. September 2025
14:00 (Europe/Berlin)
Poster-Session 21 – Poster-ID MS7.P29

Dieses Poster von Meimei Wang von der Technischen Universität München präsentiert auf der MC2025 in Karlsruhe die Analyse der Umstrukturierung einer Katalysatoroberfläche während Hochtemperaturreaktionen unter Verwendung von operando-Rasterelektronenmikroskopie (SEM) zur Untersuchung von Pt/Rh-Katalysatoren, die für die Ammoniakoxidation relevant sind. Durch die Kombination von Sekundärelektronen-, Absorptionsstrom- und Hochtemperatur-Rückstreuelektronenbildgebung mit EBSD verfolgen die Forscher in Echtzeit die kornorientierungsabhängigen Oberflächenveränderungen unter kontrollierten H₂/O₂-Atmosphären. Dieser elektronenmikroskopische Ansatz ermöglicht eine detaillierte Analyse der Umstrukturierungsdynamik, der Bildung flüchtiger Spezies und der Morphologieentwicklung und liefert Einblicke in die Mechanismen der Katalysatordegradation und Anhaltspunkte für zukünftige Verbesserungen.

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Mittwoch – Poster-Session 21 – Poster-ID MS7.P29

Genießen Sie ein exklusives point electronic Eis.

Montag, 1. September 2025
10:00 (Europe/Berlin)

KEIN TALK, ABER EINE COOLE SACHE:

Wir laden Sie ein auf ein point electronic Eis!

Besuchen Sie unseren Stand #7b, folgen Sie uns, und genießen Sie ein kühles Eis von uns.

Wir freuen uns auf Sie!