REM Elektrische Analyse
Elektrisches Analyse im REM - System zur präzisen und schnellen Visualisierung elektronischer Eigenschaften und Defekte
Das EA-System für REM wird für die Forschung und Entwicklung einer breiten Palette neuartiger Komponenten eingesetzt, von großflächigen Solarzellen, Photovoltaik, Optoelektronik und Hochleistungstransistoren bis hin zu Drähten, Säulen und Punkten im Nanometerbereich.
Das System ist eine schlüsselfertige Lösung, die mit den meisten SEM- und FIB-SEM-Geräten kompatibel ist und über eigene Hardware und Software verfügt, einschließlich eines speziellen Probenhalters, Verstärkung, Spannungsvorspannung und gleichzeitiger Bildgebung, so dass die elektrische Aktivität mit höchster Geschwindigkeit und geringstem Rauschen aufgezeichnet wird.
Es ist für quantitative Messungen ausgelegt, daher ist die Elektronik werkseitig kalibriert und die Software ist für die automatische Verwaltung von Metadaten und Messungen ausgelegt.
Das System besteht aus Hardware, Software und wählbaren Optionen.
EA Verstärker
- Kalibrierte Hochgeschwindigkeitselektronik mit In-situ- und Ex-situ-Vorverstärkern
- Komplexe mehrstufige Verstärkung mit automatischem Tiefpassfilter
- Integriertes Picoampere-Meter zur Strahlstrommessung
- Integrierte Spannungsquelle für die Vorspannung
- Integrierte Stromquelle zur Kompensation
EFA controller
- Einbindung von bis zu 8 Probenkontakten mit automatisierter Kontaktumschaltung
- kalibrierte Hochgeschwindigkeitselektronik
- komplexe vielstufige Verstärkung mit automatischer Tiefpassfilterung
- integriertes Picoampermeter zur Strahlstrommessung
- integrierte Spannungsquelle und Stromquelle zur Vorspannung sowie Kompensierung parasitärer Eingangsströme
- optional: Nieder- und Hochleistungs Versorgungseinheit für Nadelreinigung
- optional: In-Situ Vorverstärker für alle 8 Kontakte
- optional: Strom-Spannungs-Messung (I/V - Kurve)
DISS6 REM Scan Controller
- Scanelektronik der neusten Generation
- Kalibrierte 16-bit Signaldigitalisierung
- Standardmäßig 4x gleichzeitige SEM-Signaleingänge
- Zusätzliche 8-fache simultane Eingänge für In-situ-Vorverstärker
- Unabhängige Helligkeits- und Kontraststeuerung für jedes Signal
EA/EFA Kalibriernormale
- Dioden- und Widerstandsproben für Referenz und Trainingszwecke
- Keramikboard gehaltert für einfache Handhabung
- integrierter Faraday Becher für Strahlstrommessungen
DISS6 Bildaufnahme
- integrierte Software zur Bildaufnahme und Verstärkersteuerung
- ausgereifte Werkzeuge für Farbmischung von Bildern, I/V-Kurven und Linienscans
- Inspektions- und Exportfunktion kalibrierter Bild Daten
DIPS6 Bildbearbeitung
- Software zur Bildansicht
- Auslesen von Metadaten wie Scaneinstellungen
- Auslesen der quantifizierten Pixelwerte
EA Probenhalter
- 2 Kontaktnadeln für ExSitu-Vorverstärker
- Halterung von planaren und Querschnittsproben
- integrierter Faraday Becher
Premium EA Probenhalter
- 2 Kontaktnadeln für integrierten In-situ-Vorverstärker
- 2 Kontaktnadeln für ExSitu-Vorverstärker
- Halterung von planaren und Querschnittsproben
- integrierter Faraday Becher
Probenhalter auf Kundenwunsch
- Probenhalter für verschiedene Anwendungen auf Anfrage.