Ein REM erlaubt verschiedene Techniken zur Materialcharakterisierung. Mikroskope bieten in der Regel Detektoren für die gängigen Bildgebungsverfahren wie Sekundärelektronen (SE) oder rückgestreute Elektronen (BSE) sowie Zusatzsysteme von Drittanbietern wie energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS) oder elektronenstrahlinduzierter Strom (EBIC).

Während Zusatzsysteme in der Regel eine synchronisierte Charakterisierung mit Standarddetektoren ermöglichen, bleibt die synchronisierte Abbildung aller für die korrelative Charakterisierung erforderlichen Geräte eine Herausforderung.

Der DISS6 Scan Controller von point electronic erfasst bis zu 20 analoge und 14 digitale Signale gleichzeitig und ermöglicht so die direkte Live-Korrelation mehrerer Signale von analogen und digitalen Detektoren wie BSE (BackScattered Electrons) und SE (Secondary Electrons) und, was besonders wichtig ist, die Synchronisierung mehrerer Systeme über digitale Trigger- und Synchronisationssignale.

Unsere Live-Software-Tools umfassen die Mischung von Graustufen- und Farbsignalen, die Quantifizierung von Pixelwerten und die topografische Oberflächenrekonstruktion. Dies ermöglicht eine direkte Live-Korrelation zwischen den verschiedenen Detektoren.

Zur korrelativen Charakterisierung werden alle Daten in einer Datei gespeichert, um die Visualisierung, Extraktion und Verarbeitung der Daten zu erleichtern.

Das Setup:

DISS6 REM Scan Controller

mit unserer spezialisierten Live-Software:

• einfache Auswahl von Signalen
• Live-Mischen von Signalen
• Live-Signalverarbeitung

Was Sie brauchen, und warum

Die Anwendung verschiedener Analysetechniken bei der Materialcharakterisierung ermöglicht eine tiefgreifende Analysekorrelation verschiedener Eigenschaften.

Mit der synchronisierten mehrkanaligen Multitechnik-Signalerfassung wird eine direkte und genaue korrelative Materialcharakterisierung erreicht.

Der DISS6 REM-Scan-Controller ermöglicht die gleichzeitige Erfassung von bis zu 20 analogen Signalen und 12 digitalen Zählern und, besonders wichtig, wenn ein Detektorsystem kein Signal ausgibt, die Synchronisierung mehrerer Systeme über digitale Trigger und Taktgeber.

Seine Software mit Live-Signalverarbeitung und -mischung ermöglicht eine direkte Korrelation von z.B. topographischen, chemischen und elektrischen Eigenschaften.

Die Bildergebnisse: Gleichzeitige Mehrkanal-Multitechnik-Bildgebung im SEM

• BSE für Materialkontrast und Quantitative 3D-Rekonstruktion ermöglichen Korrelation von Topographie und Materialanalyse für 3D-Topographie
• SE + EBIC und Quantitative 3D-Rekonstruktion ermöglichen die Korrelation von Topographie und elektrischer Analyse für die elektrische 3D-Analyse

Datenübersicht des DISS6 REM Scan Controllers:

• 8 analoge 12-Bit-Eingänge für verarbeitete Detektorsignale (SE, Inlens, CL, BF, ADF)
• 1 analoger 20-Bit-Eingang für LockIn-Experimente
• 16 analoge Eingänge für Rohsignale von diodenbasierten Detektoren (4Q BSE, STEM)
• 14 digitale Eingänge für Zählungen

• Analoger Scan-Ausgang für direkte Scan-Steuerung über externes Scan-Interface

Synchronisationsein- und -ausgänge:

• Pixel, Line, Frame Clock
• Pixel, Line, Frame Trigger

• Digitaler LockIn-Verstärker