CAM Workshop 2026

20.05.2026 - 21.05.2026

Über den Workshop:

Der CAM-Workshop bringt Experten aus der Elektronikindustrie und Hersteller von Materialdiagnosegeräten zusammen, um Herausforderungen, innovative Lösungen und die zukünftigen Bedarfe in der Fehleranalyse und der Materialcharakterisierung von elektronischen Geräten, Sensoren und Systemen zu diskutieren.

Mit uns am Stand ist unser Partner Imina Technologies S.A. Imina ist ein Schweizer Hersteller von Roboterlösungen für die Charakterisierung von Proben unter optischen Mikroskopen (OM), FA-Inspektionswerkzeugen, Probe Stations und Rasterelektronenmikroskopen (SEM/FIB). Imina ist eines der führenden Unternehmen auf dem Markt für Halbleiterprüfgeräte für Mikro- und Nanoprobing und elektrische Fehleranalyse.

point electronic's Themen vor Ort:

Ihr Kontakt vor Ort:

René Hammer

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Ultra-Low pA-level noise EBIC and RCI of high impedance samples

Mittwoch, 20. Mai 2026
11:00 (Europe/Berlin)

Nanoprobing-Bildgebungsequipment für die Electron Beam Absorbed Current/Resistive Contrast Imaging (EBAC/RCI) und Electron Beam Induced Current (EBIC) Technik finden breite Anwendung in der Prozesssteuerung und -entwicklung im Halbleiterbereich. Mit der Verkleinerung der Bauelemente gewinnen Schäden durch den Elektronenstrahl zunehmend an Bedeutung, was niedrigere Strahlspannungen und -ströme erforderlich macht. Niedrigere Ströme führen jedoch zu einer Verringerung der Nanoprobing-Bildsignale und des Signal-Rausch-Verhältnisses. In diesem Vortrag wird ein neuartiger rauscharmer Verstärker im pA-Bereich für RCI- und EBIC-Messungen an hochohmigen Proben vorgestellt, der einen Spitzen-Spitzen-Rauschpegel von 3 pA erreicht. Seine Leistung wird experimentell mit einem Referenzverstärker verglichen, wobei die verbesserten RCI-Messfähigkeiten und neue Betriebsgrenzen hervorgehoben werden.

René Hammer
Product Manager / Scientist

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