Über den Workshop

Workflows zur Charakterisierung von Bauelementen und zur Fehleranalyse für die zukünftige Halbleitertechnologie.

Dieser gemeinsame Workshop von Imina Technologies und point electronic, der in Kooperation mit dem Fraunhofer IMWS stattfindet, präsentiert die neuesten Hard- und Software-Lösungen für In-situ-SEM-Nanoprobing und Elektrische Fehleranalyse (EFA). Die vollständig integrierte Nanoprobing- und EFA-Lösung bietet einen optimierten Workflow, der darauf ausgelegt ist, die notwendige Einarbeitungszeit zu verkürzen, die Probencharakterisierung zu vereinfachen, und Zeit zu sparen.

Wir zeigen im Workshop schnelle und präzise Probennavigation und -charakterisierung, rauscharme Signalerfassung sowie mehrkanalige Fehlererkennung mit In-situ-Vorverstärkern und farbkodierter Live-Signalüberlagerung. Unsere Applikationsexperten, aber auch Systemanwender vom Fraunhofer IMWS berichten über ihre Erfahrungen mit verschiedenen Anwendungen.

Diese Beispiele erwarten Sie in der Demo:

• Schnelle Probennavigation und präzises Probe-Landing zur Herstellung eines stabilen elektrischen Kontakts;
• Messungen von IV, Leckstrom usw. mit geführten Schritt-für-Schritt-Workflows;
• Erweitertes EFA mit rauscharmem Resistive Contrast Imaging (RCI) und anderen Elektronenstrahl-Erfassungstechniken.

Präsentiert von:

Imina Technologies SA

point electronic GmbH

Fraunhofer IMWS

Veranstaltungskosten

Der Workshop ist kostenlos und beinhaltet zudem eine Führung durch das Fraunhofer IMWS.

Er kann auch ohne eine Teilnahme am CAM Workshop besucht werden.

Für die Teilnahme ist eine Anmeldung erforderlich.

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