SEM-Nanoprobing und elektrische Fehleranalyse für Halbleiter der nächsten Generation – wir freuen uns, dass unser gemeinsamer Workshop mit praktischen Diskussionen und Live-Demonstrationen, der diese Woche hier in Halle stattfand, so gut angekommen ist.

Der Workshop wurde von Imina Technologies SA und der point electronic GmbH in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Materialien und Systemen IMWS Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Materialien und Systemen IMWS organisiert.

Im Mittelpunkt standen effiziente Arbeitsabläufe bei der Nanoprobing-Untersuchung, darunter schnelle Probennavigation, präzises Aufsetzen der Sonde und stabile elektrische Kontaktierung. Zudem wurden aktuelle Entwicklungen bei den Techniken der elektrischen Fehleranalyse erörtert, die das Anwendungsspektrum erweitern.

In einer Live-Demonstration haben wir unsere Lösung für den In-situ-SEM-Nanoprobing- und elektrische Fehleranalyse-Workflow vorgestellt. Das Team des Fraunhofer IMWS teilte praktische Einblicke und Erfahrungen aus seiner Arbeit.

Ein großes Dankeschön an Frank Altmann, Jörg Jatzkowski und ihr Team vom Fraunhofer IMWS für die herzliche Gastfreundschaft und die interessanten Impulse während der gesamten Veranstaltung.