Measurement of Surface Roughness with SEM

Mittwoch, 5. August 2026
13:30 (America/Chicago)
Raum S202 A

In unserem Talk stellen wir das Rasterelektronenmikroskop (REM) als eine effektive Methode zur Messung der Oberflächenrauheit vor, mit der Proben im Mikro- bis Nanometerbereich mit einer höheren lateralen Auflösung charakterisiert werden können als mit herkömmlichen optischen Verfahren.

Wir veranschaulichen dies durch einen Vergleich der mit dem REM gemessenen Rauheitswerte mit einem handelsüblichen Silizium-Rauheitsstandard, wobei wir unser point electronic BSE-Topographiesystem und die MountainsMap-Software für eine ISO 25178-konforme Analyse einsetzen.

Dr. Grigore Moldovan
CTO

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Advances in Quantitative STEM EBIC

Mittwoch, 5. August 2026
14:15 (America/Chicago)
Raum S 101 D

In unserem Talk stellen wir Entwicklungen für die quantitative STEM-EBIC-Messung (Electron Beam Induced Current) vor und präsentieren eine Quantifizierungsmethode, die auf Hardware-Kalibrierung und quantitativer Software basiert und anschließend zur Ermittlung der effektiven Diffusionslänge von Minoritätsladungsträgern angewendet wird. Dabei werden die Rohwerte der Bildpixel in physikalische Stromwerte im nA-Bereich umwandelt - ohne dass bei Änderungen der Geräteeinstellungen eine Neukalibrierung erforderlich ist.

Die Methode bietet darüber hinaus einen optimierten Arbeitsablauf für die Hintergrundunterdrückung und die automatisierte Anpassung von Line-Profilen, wodurch die Extraktion physikalischer Parameter wie der effektiven Diffusionslänge von Minoritätsladungsträgern in Halbleiterbauelementen ermöglicht wird.

Alle Kalibrierungsdaten werden in den Metadaten der Bilddatei gespeichert, wodurch der gesamte quantitative Arbeitsablauf online und offline ohne zusätzliche Programmierung zugänglich ist.

Dr. Grigore Moldovan
CTO

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From Knobs to Code: open scan control meets single electron counting for data driven microscopy

Dienstag, 4. August 2026
17:45 (America/Chicago)
am point electronic Stand 329

Dieses Vendor Tutorial richtet sich an Mikroskopiker und „Maker“, die über die Standard-Scanmodi hinaus zu programmierbaren, datengesteuerten Arbeitsabläufen übergehen möchten.

Vorkenntnisse im Umgang mit STEM- oder SEM-Geräten werden vorausgesetzt, spezifische Programmierkenntnisse sind jedoch nicht erforderlich.

Der Schwerpunkt liegt auf praktischen Konzepten, neuesten Ergebnissen und Umsetzungsmöglichkeiten, die die Teilnehmer auf ihre eigenen Geräte übertragen können.

Gemeinsames Vendor Tutorial mit Lewys Jones, turboTEM.

Dienstag, 17:45 Uhr

Dr. Grigore Moldovan
CTO

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Future-Proof your SEM: How Modernizations will give your SEM a second life

Mittwoch, 5. August 2026
17:45 (America/Chicago)
am point electronic Stand 329

> Ist Ihre REM-Säule noch immer leistungsstark, aber Elektronik und Software sind veraltet?

> Wussten Sie, dass Sie Ihr REM mit moderner, störungsarmer Hochgeschwindigkeits-Elektronik aufrüsten und so die Leistung und Effizienz für die kommenden Jahre steigern können?

Mit der REM Modernisierung von point electronic profitieren Sie von benutzerfreundlicher Software, Automatisierung und Betriebssystemkompatibilität – und das zu einem Bruchteil der Kosten eines neuen REM.

Nehmen Sie an unserem Vendor Tutorial teil und erfahren Sie, warum mehr als 320 Kunden sich dafür entschieden haben, ihre REMs zu modernisieren und mit point electronic auf den neuesten Stand der Technik zu bringen.

Mittwoch, 17:45 Uhr

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High Spatiotemporal STEM Using Beam Position Correction via Scan Shaping

Mittwoch, 5. August 2026
15:00 (America/Chicago)
P02.01 - Poster 258

Dieses Poster veranschaulicht, wie durch „Scan Shaping“ eine Hochgeschwindigkeits-STEM-Bildgebung jenseits der herkömmlichen Coilbeschränkungen ermöglicht wird, wobei 41 fps bei einer Auflösung von 512×512 und einer Pixelverweildauer von 60 ns erreicht werden. Das Team des Trinity College Dublin hat eine Methode des „Scan Shaping“ auf Basis eines Serpentinen-Scans implementiert, um eine Bildgebung mit hoher zeitlicher und räumlicher Auflösung zu erzielen. Das Poster behandelt zudem neue begrenzende Faktoren für die STEM-Scan-Geschwindigkeiten sowie Ansätze zur weiteren Steigerung der Bildraten.

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