REM Modernisierung eines Zeiss LEO 1530 für das KIT Karlsruhe

Gespräch mit Prof. Dr. Ralph Krupke, Leiter der Forschungsgruppe für Ladungstransport und Licht-Materie-Wechselwirkung in Kohlenstoff-Nanosystemen, und Simone Dehm, Labortechnikerin für Nanofabrikation und Elektronenstrahllithografie am Institut für Nanotechnologie des Karlsruher Instituts für Technologie (KIT)

Das beste Kompliment für eine point‑electronic‑REM‑Modernisierung? Der Kunde lässt anschließend sein zweites Gerät ebenfalls von uns modernisieren.

Nach der Modernisierung ihres LEO 1530 für die Elektronenstrahllithografie entschied sich das Team von Ralph Krupke und Simone Dehm vom Karlsruher Institut für Technologie (KIT) in diesem Jahr für eine weitere Modernisierung.

Wir installierten eine REM‑Modernisierung inklusive einer neuen Vorpumpe. Bestehende Detektoren und Schnittstellen wurden vollständig integriert.

Bessere Bildqualität
„Mit den vorhandenen Detektoren erreichen wir nach der Modernisierung eine bessere Auflösung und Bildqualität als zuvor – vor allem dank des deutlich verbesserten Signal‑Rausch‑Verhältnisses durch die neue Elektronik“, sagt Simone Dehm. „Gerade bei Proben mit schwachem Kontrast ein großer Vorteil.“

Intuitive Software
„Die point‑electronic‑Steuerungssoftware wird von Anfängern wie erfahrenen Anwendern als deutlich benutzerfreundlicher wahrgenommen“, fasst Ralph Krupke das Feedback seiner Kollegen zusammen. Ob erstellbare Buttons für unterschiedliche Detektoren und Scan‑Qualitäten, die Click‑to‑Move‑Funktion für die Stage, oder manuelle Steuerung der einzelnen Vakuum-Komponenten – „Wir haben bisher nur positives Feedback erhalten.“

Das KIT nutzt das modernisierte LEO 1530 als Multi-User-Gerät mit rund 30 Personen – von Batteriematerialien über Materialsynthese bis zum Qualitätsmanagement.

Anpassung auf Kundenwunsch
Zwei nachträgliche Funktionswünsche des KIT‑Teams konnten wir bereits wenige Tage später mit einem Software‑Update umsetzen. „Auch für die Integration unseres komplexen Detektorsystems hat point electronic gut gelöst“, betont Krupke.

Vielen Dank an Prof. Dr. Ralph Krupke, Simone Dehm und das gesamte KIT-Team – und weiterhin viel Erfolg mit dem modernisierten SEM.